Silikon karbür seramik kaplama

Yarıiletken Silikon karbür seramik kaplamamükemmel kimyasal korozyon direnci ve yüksek sıcaklık stabilitesi sağlayan son derece sert ve aşınmaya dayanıklı silikon karbür (sic) malzemeden yapılmış yüksek performanslı bir koruyucu kaplamadır. Bu özellikler yarı iletken üretiminde çok önemlidir, bu nedenle silikon karbür seramik kaplama yarı iletken üretim ekipmanının temel bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Yarıiletken üretiminde Vetek Semiconductor Silikon Karbür Seramik Kaplamanın oynadığı spesifik rolaşağıdaki gibi:

Ekipman dayanıklılığını artırın: Silikon karbür seramik kaplama, son derece yüksek sertliği ve aşınma direnci ile yarı iletken üretim ekipmanı için mükemmel yüzey koruması sağlar. Özellikle kimyasal buhar birikimi (CVD) ve plazma aşınması gibi yüksek sıcaklıkta, yüksek aşındırıcı işlem ortamlarında, silikon karbür seramik kaplama, kimyasal erozyon veya fiziksel aşınma nedeniyle ekipman yüzeyinde hasarı etkili bir şekilde önleyebilir, böylece ekipmanın hizmet ömrünü önemli ölçüde genişletir ve sık replasman ve bakım nedeniyle azalan aşağı zaman.

Süreç saflığını iyileştirin: Yarı iletken üretim sürecinde, herhangi bir küçük kontaminasyon ürün kusurlarına neden olabilir. Silikon karbür seramik kaplamanın kimyasal etkisi, aşırı koşullar altında stabil kalmasını, malzemenin parçacıkları veya safsızlıkları serbest bırakmasını ve işlem sırasında çevrenin saflığını sağlamasını sağlar. Bu, özellikle PECVD ve iyon implantasyonu gibi yüksek hassasiyet ve yüksek temizlik gerektiren adımlar için önemlidir.

Termal yönetimini optimize et: Hızlı termal işleme (RTP) ve oksidasyon işlemleri gibi yüksek sıcaklıkta yarı iletken işlemede, silikon karbür seramik kaplamanın yüksek termal iletkenliği, ekipmanın içinde muntazam bir sıcaklık dağılımı sağlar. Bu, sıcaklık dalgalanmalarının neden olduğu termal stres ve malzeme deformasyonunu azaltmaya yardımcı olur, böylece ürün üretim doğruluğunu ve tutarlılığını iyileştirir.

Karmaşık süreç ortamını destekleyin: ICP aşındırma ve PSS aşındırma işlemleri gibi karmaşık atmosfer kontrolü gerektiren işlemlerde, silikon karbür seramik kaplama ısıtıcısının stabilitesi ve oksidasyon direnci, uzun süreli operasyonda ekipmanın kararlı performansını sağlar ve çevre değişiklikleri nedeniyle malzeme bozulması veya ekipman hasarı riskini azaltır.

YarıiletkenYüksek performanslı üretim ve tedarik etmeye odaklanırSilikon karbür seramik kaplamave yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kararlıdır.Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.

Temel fiziksel özellikleriSilikon karbür seramik kaplama:

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Seramik Kaplama Mağazaları:

Yarıiletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: