Silikon Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcı

Yarıiletken Silikon Karbür Seramik Kaplama Grafit IsıtıcıGrafitin mükemmel elektrik ve termal iletkenliğini yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci ve silikon karbon seramik kaplamanın aşınma direnciyle birleştirir ve sert yarı iletken üretim ortamları için tasarlanmıştır. 

Silikon Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcıesas olarak vakum kaplama (buharlaşma) ekipmanında kullanılır ve yaygın olarak kullanılan yöntemler PCD (plazma kimyasal kurutma) ve PVD'dir (fiziksel buhar birikimi). Bu ürün, yarı iletken endüstrisinde teknolojik ilerlemenin teşvik edilmesinde ve üretim verimliliğini artırmada önemli bir rol oynamıştır.Sizinle daha fazla işbirliği yapmayı içtenlikle bekliyoruz.

Silikon karbür seramik kaplama grafit ısıtıcısının malzeme ve yapısal özellikleri aşağıdaki gibidir.:

Grafit substratı: Grafit, yüksek termal iletkenliği ve düşük termal genleşme katsayısı ile bilinir. Sıcaklık değişikliklerine hızlı bir şekilde yanıt verebilir ve yüksek sıcaklıklarda yapısal stabiliteyi koruyabilir.

Silikon karbon seramik kaplama: SIC kaplama, kimyasal buhar birikimi veya diğer gelişmiş işlemler yoluyla grafit yüzeyi üzerinde eşit olarak kaplanmıştır. SIC, grafit substratını yüksek sıcaklık oksidasyon ve aşındırıcı ortamlardan koruyabilen son derece yüksek sertlik ve kimyasal korozyon direncine sahiptir.

Silikon karbür seramik kaplama grafit ısıtıcısının özel ürün yapısal tasarımı belirlerYarıiletken işleme işleminde bu ürünün yeri doldurulamaz ürün avantajları:

Verimli ve tek tip ısıtma:

Termal iletkenlik: Grafitin yüksek termal iletkenliği, ısıtıcının gerekli sıcaklığa hızlı bir şekilde ulaşmasını ve korumasını sağlar ve SIC kaplama ısının muntazam dağılımını sağlar. Bu özellikle hızlı termal işleme (RTP) ve kimyasal buhar birikimi (CVD) gibi hassas sıcaklık kontrolü gerektiren yarı iletken işlemler için önemlidir.

Sıcaklık: Düzgün ısı dağılımı yoluyla, silikon karbür seramik kaplama grafit ısıtıcı, termal stresi ve sıcaklık gradyanını etkili bir şekilde azaltabilir, bu da ısıtma işlemi boyunca yarı iletken gofretlerin kıvamını ve kalite stabilitesini sağlar.

Korozyon Karşıtı Koruma:

Kimyasal direnç: SIC kaplamanın kimyasal korozyon direnci, ısıtıcının aşındırıcı gaz ve kimyasal ortamlarda stabil ve uzun süre çalışmasını sağlar ve grafit substratına zarar verir. Bu özellik özellikle kimyasal buhar birikimi (CVD) ve plazma geliştirilmiş kimyasal buhar birikimi (PECVD) gibi işlemlerde kritiktir.

Oksidasyon direnci: Yüksek sıcaklıklarda, SIC kaplama grafit substratın oksidasyonunu önleyebilir, ısıtıcının servis ömrünü uzatabilir ve ekipman bakımının sıklığını ve maliyetini azaltabilir.

Parçacık kontaminasyonunu azaltın:

Yüzey stabilitesi: SIC kaplama sadece aşınmaya dirençli değildir, aynı zamanda parçacıkların termal döngü veya kimyasal reaksiyonlar nedeniyle malzeme yüzeyinden düşmesini önler, böylece yarı iletken üretimi sırasında meydana gelebilecek parçacık kontaminasyonu riskini azaltır ve yüksek temizlik süreci ortamı sağlar.

Süreç güvenilirliğini ve verimliliğini artırın:

Uzun ömürlü tasarım: Grafitin mekanik mukavemeti ve SIC kaplamanın aşınma direncinin kombinasyonu nedeniyle, silikon karbür seramik kaplama grafit ısıtıcı, sert işlem koşulları altında uzun süre yüksek verimli çalışmayı sürdürebilir ve ekipmanın genel güvenilirliğini önemli ölçüde artırabilir.

Verimli enerji kullanımı: Grafitin yüksek termal iletkenliği ve SIC kaplamanın yüksek sıcaklık stabilitesi, ısıtıcının sıcaklık kontrol doğruluğunu artırırken enerji tüketimini azaltmasını sağlar, böylece yarı iletken üretiminin genel verimliliğini artırır.

Temel fiziksel özellikleriSilikon Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcı:

YarıiletkenSilikon Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcıdükkanlar:

Yarıiletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış:

/diğer süreç