Silikon karbür gofret Chuck

Vetek yarı iletken silikon karbür gofret chuck, yarı iletken üretiminin katı gereksinimlerini karşılamak için silikon karbür malzemelerinin mükemmel özelliklerini, özellikle son derece yüksek hassasiyet ve güvenilirlik gerektiren yarı iletken işlemede kullanır.

Yarı iletken işleme işleminde,Silikon karbürMükemmel yüksek sıcaklık direncine sahiptir (1400 ° C'ye kadar istikrarlı bir şekilde çalışabilir), düşük iletkenlik (sic nispeten düşük iletkenliğe sahiptir, tipik olarak 10^^^-3S/m) ve düşük termal genleşme katsayısı (yaklaşık 4.0 × 10^^-6/° C), özellikle silikon karbür gofret aynası üretimi için uygun olan vazgeçilmez ve önemli bir malzeme.

Sırasındaepitaksiyal büyüme süreci, düzgün ve yüksek kaliteli film biriktirme katmanlarını sağlamak için gofretten mutlak stabilite gerektiren bir substrat üzerine ince bir yarı iletken malzeme tabakası bırakılır. SIC vakum Chuck, gofretin herhangi bir hareketini veya deformasyonunu önlemek için sağlam, tutarlı bir vakum tutma oluşturarak bunu başarır.

Silikon karbür gofret aynası da termal şoka karşı mükemmel bir direnç sunar. Hızlı sıcaklık değişiklikleri yarı iletken üretiminde yaygındır ve bu dalgalanmalara dayanamayan malzemeler çatlayabilir, bükebilir veya başarısız olabilir. Silikon karbür düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir ve sert sıcaklık değişimleri altında bile şeklini ve işlevini koruyabilir, bu da gofretin epitaksi işlemi sırasında hareket veya yanlış hizalanma olmadan güvenli kalmasını sağlar.

Dahası,epitaksi süreciGenellikle reaktif gazları ve diğer aşındırıcı kimyasalları içerir. SIC gofret aynasının kimyasal etkisi, bu zorlu ortamlardan etkilenmemesini, performansını korumasını ve hizmet ömrünü uzatmasını sağlar. Bu kimyasal dayanıklılık sadece gofret tarama replasmanının sıklığını azaltmakla kalmaz, aynı zamanda çoklu üretim döngüsü üzerinde tutarlı ürün performansı sağlar ve yarı iletken üretim sürecinin genel verimliliğini ve maliyet etkinliğini artırmaya yardımcı olur.

Vetek Semiconductor, Çin'de silikon karbür gofret chuck ürünlerinin önde gelen üreticisi ve tedarikçisidir. Gibi çeşitli tür chuck ürünleri sağlayabiliriz.Gözenekli sic seramik aynası, Gözenekli sic vakum aynası, Gözenekli seramik vakum aynasıVeTAC kaplı aynalVetek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamayı taahhüt eder. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.

SEM verileri CVDSic film kristal yapısı：

Vetek Semiconductor Silikon Karbür Gofret Chuck Mağazaları：