CVD Silisyum Karbür (SiC) Kaplamalı Grafit RTP RTA Taşıyıcı

Ürün Özellikleri

· Çekirdek Ekipman:Hızlı Termal Tavlama (RTA) ve Hızlı Termal İşleme (RTP) sistemleri için tasarlanmıştır.

· Primary Auygulama: Yarı iletken levha tavlama işlemleri için optimize edilmiştir.

· Operasyonederecelendirme Tesıcaklık:200°C'den 700°C'ye kadar kararlı çalışma.

· ExcEllent Thermal Tekdüzelik: Tutarlı gofret işleme için eşit ısı dağılımı sağlar.

· Düşük ParçacıkGüretim: Yoğun CVD SiC kaplama kirlenmeyi en aza indirir ve üretim verimini artırır.

· Üstün Kimyasal Direnç:Isıl işlem sırasında oksidasyona ve aşındırıcı proses gazlarına karşı dayanıklıdır.

· Olağanüstüg TermalŞok Direnci: Tekrarlanan hızlı ısıtma ve soğutma döngüleri sayesinde yapısal bütünlüğü korur.

· Uzun Hizmet Ömrü:Aşınmaya dayanıklı SiC kaplama, bileşen ömrünü önemli ölçüde uzatır ve bakım maliyetlerini azaltır.

· GelenekÜretme:Farklı RTP/RTA ekipmanlarına uyacak şekilde çeşitli boyutlarda ve konfigürasyonlarda mevcuttur.

Teknik Özellikler

Uygulamalar

·Hızlı Termal Tavlama (RTA)

· Hızlı Termal İşleme (RTP)

· Silikon Gofret Tavlama

· Dopant Aktivasyonu

· Oksidasyon

· Difüzyon

·Bileşik Yarı İletken İmalatı

·MEMS İmalatı

·Güç Yarı İletken İşleme

SSS

1. RTP/RTA Taşıyıcısı nedir?

RTP/RTA Taşıyıcı, hızlı termal işleme ve hızlı termal tavlama sistemlerinde kullanılan bir levha destek bileşenidir. Termal döngü boyunca eşit ısı transferi sağlarken yarı iletken plakaları güvenli bir şekilde tutar.

2. CVD SiC kaplama neden tercih edilir?

Çıplak grafit ile karşılaştırıldığında CVD SiC kaplama üstün oksidasyon direnci, daha düşük parçacık üretimi, daha iyi kimyasal stabilite ve önemli ölçüde daha uzun hizmet ömrü sunar.

3. VETEK özelleştirilmiş RTP/RTA taşıyıcıları sağlayabilir mi?

Evet. VETEK, müşteri çizimlerine göre özelleştirilmiş RTP/RTA taşıyıcıları sunmaktadır.