Epi destekçisi

Vetek Semiconductor, profesyonel bir lider Çin EPI, Ald Planetary Tugor ve TAC kaplı grafit destek üreticisidir. Ve EPI desteğimiz önemli bir bileşenidir.epitaksiyal büyümeYarı iletken üretim sürecinde. Ana işlevi, yüksek kaliteli bir epitaksiyal tabaka gofret yüzeyinde eşit olarak büyütülebilmesi için gofreti desteklemek ve ısıtmaktır.

Vetek Semiconductors'ın EPI duyucuları genellikle yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır ve bir silikon karbür (sic) tabakası ile kaplanmıştır.Bu tasarım aşağıdaki temel avantajlara sahiptir:

● Yüksek sıcaklık dengesi: EPI suyunun, epitaksiyal tabakanın tekdüze büyümesini sağlayarak yüksek sıcaklık bir ortamda stabil kalabilir.

● Korozyon direnci: SIC kaplama mükemmel korozyon direncine sahiptir ve tepsinin servis ömrünü uzatarak kimyasal gazların erozyonuna direnebilir.

● Termal iletkenlik: SIC malzemesinin yüksek termal iletkenliği, ısıtma sırasında gofretin eşit sıcaklık dağılımını sağlar, böylece epitaksiyal tabakanın kalitesini iyileştirir.

● Termal Genişleme Katsayısı Eşleşmesi: SIC'nin termal genleşme katsayısı, termal genleşme ve kasılma nedeniyle kaplama dökülme probleminden kaçınarak grafitinkine benzer.

Temel fiziksel özellikleriCVD SIC kaplama:

CVD SIC Kaplama Üretim Mağazası:

Yarıiletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: