MOCVD Sinkörü hakkında bilgi sahibi misiniz?

Metal-organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) işleminde, ekipman, gofretin desteklenmesinden ve biriktirme işleminin tekdüzeliğini ve kesin kontrolünü sağlamaktan sorumlu temel bir bileşendir. Malzeme seçimi ve ürün özellikleri, epitaksiyal işlemin stabilitesini ve ürünün kalitesini doğrudan etkiler.

MOCVD desteği(Metal-organik kimyasal buhar birikimi) yarı iletken üretiminde önemli bir işlem bileşenidir. Esas olarak gofreti ince film birikimi için desteklemek ve ısıtmak için MOCVD (metal-organik kimyasal buhar biriktirme) işleminde kullanılır. Demircinin tasarımı ve malzeme seçimi, nihai ürünün tekdüzeliği, verimliliği ve kalitesi için çok önemlidir.

Ürün Türü ve Malzeme Seçimi:

MOCVD suyunun tasarımı ve malzeme seçimi, genellikle süreç gereksinimleri ve reaksiyon koşulları ile belirlenen çeşitlidir.Aşağıdakiler yaygın ürün türleri ve malzemeleri:

SIC kaplı duyucu(Silikon Karbür Kaplamalı Suyu):

Açıklama: Substrat olarak grafit veya diğer yüksek sıcaklık malzemeleri olan SIC kaplamalı suyun ve aşınma direncini ve korozyon direncini iyileştirmek için yüzeyde CVD SIC kaplama (CVD SIC kaplama).

Uygulama: Yüksek sıcaklık ve yüksek aşındırıcı gaz ortamlarında, özellikle silikon epitaksi ve bileşik yarı iletken birikiminde MOCVD işlemlerinde yaygın olarak kullanılır.

TAC kaplı subers:

Açıklama: Ana malzemenin son derece yüksek sertliğe ve kimyasal stabilitesine sahip olduğu için TAC kaplamalı (CVD TAC kaplama) duyucu ve son derece aşındırıcı ortamlarda kullanım için uygundur.

Uygulama: Galyum nitrür (GAN) ve galyum arsenit (GAAS) birikimi gibi daha yüksek korozyon direnci ve mekanik mukavemet gerektiren MOCVD işlemlerinde kullanılır.

MOCVD için Silikon Karbür Kaplamalı Grafit Suyu:

Açıklama: Substrat grafittir ve yüzey, yüksek sıcaklıklarda stabilite ve uzun ömür sağlamak için bir CVD SIC kaplama tabakası ile kaplıdır.

Uygulama: Yüksek kaliteli bileşik yarı iletken malzemeler üretmek için Aixtron MOCVD reaktörleri gibi ekipmanlarda kullanım için uygundur.

EPI Desteği (Epitaksi Destekçisi):

Açıklama: Termal iletkenliğini ve dayanıklılığını arttırmak için genellikle SIC kaplama veya TAC kaplama ile epitaksiyal büyüme işlemi için özel olarak tasarlanmış suyun.

Uygulama: Silikon epitaksi ve bileşik yarı iletken epitaksisinde, gofretlerin düzgün ısıtılması ve birikmesini sağlamak için kullanılır.

Yarıiletken işlemede MOCVD için Sinkörün Ana Rolü:

Gofret desteği ve tekdüze ısıtma:

Fonksiyon: Sensör, MOCVD reaktörlerindeki gofretleri desteklemek ve indüksiyon ısıtma veya muntazam film birikimi sağlamak için diğer yöntemler yoluyla düzgün ısı dağılımı sağlamak için kullanılır.

Isı iletimi ve stabilitesi:

FONKSİYON: Sinkör malzemelerinin termal iletkenliği ve termal stabilitesi çok önemlidir. SIC kaplamalı duyucu ve TAC kaplı duyucu, yüksek termal iletkenlik ve yüksek sıcaklık dirençleri nedeniyle yüksek sıcaklık süreçlerinde stabiliteyi koruyabilir ve eşit olmayan sıcaklığın neden olduğu film kusurlarından kaçınabilir.

Korozyon direnci ve uzun ömür:

FONKSİYON: MOCVD işleminde, suyun çeşitli kimyasal öncü gazlarına maruz kalır. SIC kaplama ve TAC kaplama mükemmel korozyon direnci sağlar, malzeme yüzeyi ile reaksiyon gazı arasındaki etkileşimi azaltır ve suyunun servis ömrünü uzatır.

Reaksiyon ortamının optimizasyonu:

Fonksiyon: Yüksek kaliteli duyucular kullanılarak, MOCVD reaktöründeki gaz akışı ve sıcaklık alanı optimize edilir, bu da tek tip bir film biriktirme işlemi sağlar ve cihazın verimini ve performansını iyileştirir. Genellikle MOCVD reaktörleri ve Aixtron MOCVD ekipmanı için duyucularda kullanılır.

Ürün özellikleri ve teknik avantajlar：

Yüksek termal iletkenlik ve termal stabilite:

Özellikler: SIC ve TAC kaplı duyucular son derece yüksek termal iletkenliğe sahiptir, ısıyı hızlı ve eşit olarak dağıtabilir ve gofretlerin muntazam ısıtılmasını sağlamak için yüksek sıcaklıklarda yapısal stabiliteyi koruyabilir.

Avantajları: Galyum nitrür (GAn) ve galyum arsenid (GAAS) gibi bileşik yarı iletkenlerin epitaksiyal büyümesi gibi hassas sıcaklık kontrolü gerektiren MOCVD işlemleri için uygundur.

Mükemmel korozyon direnci:

Özellikler: CVD SIC kaplama ve CVD TAC kaplama son derece yüksek kimyasal hareketsizliğe sahiptir ve klorürler ve florürler gibi yüksek aşındırıcı gazlardan korozyona direnebilir ve suyunun substratını hasardan koruyabilir.

Avantajları: Sinekçinin servis ömrünü uzatın, bakım frekansını azaltın ve MOCVD işleminin genel verimliliğini artırın.

Yüksek mekanik güç ve sertlik:

Özellikler: SIC ve TAC kaplamalarının yüksek sertliği ve mekanik mukavemeti, suyunun yüksek sıcaklık ve yüksek basınçlı ortamlarda mekanik strese dayanmasını ve uzun süreli stabilite ve hassasiyeti korumasını sağlar.

Avantajları: Özellikle epitaksiyal büyüme ve kimyasal buhar birikimi gibi yüksek hassasiyet gerektiren yarı iletken üretim süreçleri için uygundur.

Piyasa Uygulaması ve Geliştirme Beklentileri

MOCVD duyucularyüksek parlaklık LED'leri, elektrikli elektronik cihazlar (GAN bazlı HEMT'ler gibi), güneş pilleri ve diğer optoelektronik cihazların üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Daha yüksek performans ve daha düşük güç tüketimi yarı iletken cihazlarına olan talep ile MOCVD teknolojisi ilerlemeye devam ederek sensör materyallerinde ve tasarımlarda yenilikçiliği artırıyor. Örneğin, daha yüksek saflık ve daha düşük kusur yoğunluğuna sahip SIC kaplama teknolojisinin geliştirilmesi ve daha büyük gofretlere ve daha karmaşık çok katmanlı epitaksiyal süreçlere uyum sağlamak için suyunun yapısal tasarımını optimize etmek.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd, yarı iletken endüstrisi için gelişmiş kaplama malzemelerinin lider sağlayıcısıdır. Şirketimiz endüstri için en yeni çözümler geliştirmeye odaklanıyor.

Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD silikon karbür (sic) kaplamalar, tantal karbür (TAC) kaplamalar, yığın tozları ve yüksek saflıkta sic malzemeleri, sic kaplamalı grafit sıyrıkları, TAC kaplamalı sapma halkası, yarılanma parçaları, vb.

Vetek yarı iletken, yarı iletken endüstrisi için en yeni teknoloji ve ürün geliştirme çözümleri geliştirmeye odaklanmaktadır. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.