Oksidasyon ve difüzyon fırını

Oksidasyon ve difüzyon fırınları, yarı iletken cihazlar, ayrık cihazlar, optoelektronik cihazlar, güç elektronik cihazlar, güneş pilleri ve büyük ölçekli entegre devre üretimi gibi çeşitli alanlarda kullanılır. Difüzyon, oksidasyon, tavlama, alaşım ve gofretlerin sinterlenmesi gibi işlemler için kullanılırlar.

Vetek Semiconductor, oksidasyon ve difüzyon fırınlarında yüksek saflıkta grafit, silikon karbür ve kuvars bileşenlerinin üretiminde uzmanlaşmış önde gelen bir üreticidir. Yarı iletken ve fotovoltaik endüstriler için yüksek kaliteli fırın bileşenleri sağlamayı taahhüt ediyoruz ve CVD-SIC, CVD-TAC, pirokarbon, vb.

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

● Yüksek sıcaklık direnci (1600'e kadar ℃)

● Mükemmel termal iletkenlik ve termal stabilite

● İyi kimyasal korozyon direnci

● Termal genişleme katsayısı düşük

● Yüksek güç ve sertlik

● Uzun hizmet ömrü

Oksidasyon ve difüzyon fırınlarında, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gazların varlığı nedeniyle, birçok bileşen, silikon karbürün (sic) yaygın olarak kullanılan bir seçim olduğu yüksek sıcaklık ve korozyona dirençli malzemelerin kullanılmasını gerektirir. Aşağıda oksidasyon fırınlarında ve difüzyon fırınlarında bulunan yaygın silikon karbür bileşenleri:

● gofret teknesi

Silikon karbür gofret teknesi, yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve silikon gofretlerle tepki vermeyecek silikon gofret taşımak için kullanılan bir kaptır.

● Fırın tüpü

Fırın tüpü, silikon gofretleri barındırmak ve reaksiyon ortamını kontrol etmek için kullanılan difüzyon fırının çekirdek bileşenidir. Silikon karbür fırın tüpleri mükemmel yüksek sıcaklık ve korozyon direnci performansına sahiptir.

● Dövme plakası

Fırın içindeki hava akışını ve sıcaklık dağılımını düzenlemek için kullanılır

● Termokupl koruma tüpü

Sıcaklık ölçüm termokupllarını aşındırıcı gazlarla doğrudan temastan korumak için kullanılır.

● Konsol kürek

Silikon karbür konsol kürekleri yüksek sıcaklık ve korozyona dayanıklıdır ve silikon gofret taşıyan silikon tekneleri veya kuvars tekneleri difüzyon fırın tüplerine taşımak için kullanılır.

● Gaz enjektörü

Fırına reaksiyon gazı eklemek için kullanılır, yüksek sıcaklık ve korozyona karşı dirençli olmalıdır.

● Tekne taşıyıcısı

Silikon karbür gofret tekne taşıyıcısı, yüksek mukavemet, korozyon direnci ve iyi yapısal stabilite gibi avantajlara sahip silikon gofretleri düzeltmek ve desteklemek için kullanılır.

● Fırın kapısı

Silikon karbür kaplamalar veya bileşenler fırın kapısının içinde de kullanılabilir.

● Isıtma elemanı

Silikon karbür ısıtma elemanları yüksek sıcaklıklar, yüksek güç için uygundur ve sıcaklıkları hızlı bir şekilde 1000 ℃'ye yükseltebilir.

● sic astar

Fırın tüplerinin iç duvarını korumak için kullanılır, ısı enerjisi kaybını azaltmaya yardımcı olabilir ve yüksek sıcaklık ve yüksek basınç gibi sert ortamlara dayanabilir.

View as

Silisyum Karbür Seramik Gofret Teknesi

Vetek Semiconductor, çeşitli yarı iletken işlem gereksinimlerini karşılamak için dikey/sütun ve yatay konfigürasyonlarda yüksek kaliteli gofret tekneleri, kaideler ve özel gofret taşıyıcılarının sağlanması konusunda uzmanlaşmıştır. Silikon karbür kaplama filmlerinin önde gelen üreticisi ve tedarikçisi olarak, silikon karbür seramik gofret teknemiz, Avrupa ve Amerikan pazarları tarafından yüksek maliyet etkinliği ve mükemmel kalitesi için tercih edilmektedir ve ileri yarı iletken üretim süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Vetek Semiconductor, küresel müşterilerle uzun ve istikrarlı işbirlikçi ilişkiler kurmaya kararlıdır ve özellikle Çin'deki güvenilir yarı iletken süreç ortağınız olmayı umuyor.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Silisyum Karbür (SiC) Konsol Kürek

Yarı iletken endüstrisindeki silikon karbür (sic) konsol kürekinin rolü, gofretleri desteklemek ve taşımaktır. Difüzyon ve oksidasyon gibi yüksek sıcaklık süreçlerinde, SIC konsol kürek, yüksek sıcaklıktan kaynaklanan deformasyon veya hasar olmadan gofret teknelerini ve gofretleri stabil bir şekilde taşıyabilir ve işlemin sorunsuz ilerlemesini sağlar. Difüzyon, oksidasyon ve diğer işlemlerin daha düzgün hale getirilmesi, gofret işlemenin tutarlılığını ve verimini artırmak için çok önemlidir. Vetek Semiconductor, gofretlerin kirlenmemesini sağlamak için yüksek saflıkta silikon karbür ile SIC konsol kürek oluşturmak için gelişmiş teknoloji kullanır. Vetek Semiconductor, Silikon Karbür (SIC) konsol kürek ürünleri konusunda sizinle uzun süreli işbirliğini dört gözle bekliyor.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Kuvars pota

VeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen kuvars pota tedarikçisi ve üreticisidir. Ürettiğimiz kuvars potalar ağırlıklı olarak yarı iletken ve fotovoltaik alanlarda kullanılmaktadır. Temizlik ve yüksek sıcaklık dayanımı özelliklerine sahiptirler. Ve yarı iletken için kuvars potamız, yarı iletken silikon levha üretim sürecinde silikon çubuk çekme, polisilikon hammaddelerinin yüklenmesi ve boşaltılması üretim süreçlerini destekler ve silikon levha üretimi için temel sarf malzemeleridir. VeTek Semiconductor, Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyor.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Silisyum Karbür gofret Taşıyıcı

Çin'de profesyonel bir silikon karbür gofret taşıyıcı tedarikçisi olarak Vetek Semiconductor Sic gofret taşıyıcı, yarı iletken gofret işleminde yeri doldurulamaz bir rol oynayan yarı iletken gofretlerin işlenmesi ve işlenmesi için özel olarak kullanılan bir araçtır. Daha fazla danışmanıza hoş geldiniz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Silikon Kaide

VeTek Yarı İletken Silikon Kaide, yarı iletken difüzyon ve oksidasyon süreçlerinde önemli bir bileşendir. Yüksek sıcaklık fırınlarında silikon tekneleri taşımak için özel bir platform olan Silikon Kaide, gelişmiş sıcaklık eşitliği, optimize edilmiş levha kalitesi ve yarı iletken cihazların gelişmiş performansı dahil olmak üzere birçok benzersiz avantaja sahiptir. Daha fazla ürün bilgisi için lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Sic seramik conta halkası

Çin'de büyük ölçekli bir fabrika ve SIC seramik mühür halkası ürünlerinin tedarikçisi olarak, Vetek yarı iletken SIC seramik conta halkası, mükemmel termal iletkenliği, olağanüstü kimyasal ve korozyon direnci ve yüksek mukavemet ve sertlik nedeniyle endüstriyel alanda çok çeşitli uygulamalara sahiptir. Daha fazla sorunuza hoş geldiniz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Çin'de profesyonel bir Oksidasyon ve difüzyon fırını üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Oksidasyon ve difüzyon fırını satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
e-posta
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin

Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Menüden Çık

Oksidasyon ve difüzyon fırını

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

Silisyum Karbür Seramik Gofret Teknesi

Silisyum Karbür (SiC) Konsol Kürek

Kuvars pota

Silisyum Karbür gofret Taşıyıcı

Silikon Kaide

Sic seramik conta halkası

Talep Gönder

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon

Faks

e-posta

Adres