Oksidasyon ve Difüzyon Fırını

Oksidasyon ve Difüzyon Fırınları yarı iletken cihazlar, ayrık cihazlar, optoelektronik cihazlar, güç elektroniği cihazları, güneş pilleri ve büyük ölçekli entegre devre imalatı gibi çeşitli alanlarda kullanılmaktadır. Gofretlerin difüzyonu, oksidasyonu, tavlanması, alaşımlanması ve sinterlenmesi gibi işlemler için kullanılırlar.

VeTek Semiconductor, oksidasyon ve difüzyon fırınlarında yüksek saflıkta grafit, silisyum karbür ve kuvars bileşenlerinin üretiminde uzmanlaşmış lider bir üreticidir. Yarı iletken ve fotovoltaik endüstrileri için yüksek kaliteli fırın bileşenleri sağlamaya kararlıyız ve CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon vb. gibi yüzey kaplama teknolojilerinde ön sıralarda yer alıyoruz.

VeTek Semiconductor silisyum karbür bileşenlerinin avantajları:

Yüksek sıcaklık dayanımı (1600°C'ye kadar)

Mükemmel termal iletkenlik ve termal stabilite

İyi kimyasal korozyon direnci

Düşük termal genleşme katsayısı

Yüksek mukavemet ve sertlik

Uzun servis ömrü

Oksidasyon ve difüzyon fırınlarında, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gazların varlığından dolayı birçok bileşen, yüksek sıcaklığa ve korozyona dayanıklı malzemelerin kullanılmasını gerektirir; bunların arasında silisyum karbür (SiC) yaygın olarak kullanılan bir seçimdir. Aşağıdakiler oksidasyon fırınlarında ve difüzyon fırınlarında bulunan yaygın silisyum karbür bileşenleridir:

Gofret Teknesi

Silisyum karbür gofret teknesi, yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve silikon gofretlerle reaksiyona girmeyen silikon gofretleri taşımak için kullanılan bir kaptır.

Fırın Borusu

Fırın tüpü, silikon levhaları barındırmak ve reaksiyon ortamını kontrol etmek için kullanılan difüzyon fırınının temel bileşenidir. Silisyum karbür fırın tüpleri mükemmel yüksek sıcaklık ve korozyon direnci performansına sahiptir.

Bölme Plakası

Fırın içindeki hava akışını ve sıcaklık dağılımını düzenlemek için kullanılır

Termokupl Koruma Borusu

Sıcaklık ölçüm termokupllarını aşındırıcı gazlarla doğrudan temastan korumak için kullanılır.

Konsol Kürek

Silisyum karbür konsol kürekleri, yüksek sıcaklığa ve korozyona karşı dayanıklıdır ve silikon levhaları taşıyan silikon tekneleri veya kuvars teknelerini difüzyon fırını tüplerine taşımak için kullanılır.

Gaz Enjektörü

Reaksiyon gazını fırına vermek için kullanılır, yüksek sıcaklığa ve korozyona dayanıklı olması gerekir.

Tekne Taşıyıcı

Silikon karbür levha tekne taşıyıcısı, yüksek mukavemet, korozyon direnci ve iyi yapısal stabilite gibi avantajlara sahip olan silikon levhaları sabitlemek ve desteklemek için kullanılır.

Fırın Kapısı

Fırın kapısının iç kısmında da silisyum karbür kaplamalar veya bileşenler kullanılabilir.

Isıtma elemanı

Silisyum karbür ısıtma elemanları, yüksek sıcaklıklar ve yüksek güç için uygundur ve sıcaklıkları hızlı bir şekilde 1000 ° C'nin üzerine çıkarabilir.

SiC Astar

Fırın tüplerinin iç duvarını korumak için kullanıldığında, ısı enerjisi kaybını azaltmaya ve yüksek sıcaklık ve yüksek basınç gibi zorlu ortamlara dayanmaya yardımcı olabilir.