Oksidasyon ve difüzyon fırını

Oksidasyon ve difüzyon fırınları, yarı iletken cihazlar, ayrık cihazlar, optoelektronik cihazlar, güç elektronik cihazlar, güneş pilleri ve büyük ölçekli entegre devre üretimi gibi çeşitli alanlarda kullanılır. Difüzyon, oksidasyon, tavlama, alaşım ve gofretlerin sinterlenmesi gibi işlemler için kullanılırlar.

Vetek Semiconductor, oksidasyon ve difüzyon fırınlarında yüksek saflıkta grafit, silikon karbür ve kuvars bileşenlerinin üretiminde uzmanlaşmış önde gelen bir üreticidir. Yarı iletken ve fotovoltaik endüstriler için yüksek kaliteli fırın bileşenleri sağlamayı taahhüt ediyoruz ve CVD-SIC, CVD-TAC, pirokarbon, vb.

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

● Yüksek sıcaklık direnci (1600'e kadar ℃)

● Mükemmel termal iletkenlik ve termal stabilite

● İyi kimyasal korozyon direnci

● Termal genişleme katsayısı düşük

● Yüksek güç ve sertlik

● Uzun hizmet ömrü

Oksidasyon ve difüzyon fırınlarında, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gazların varlığı nedeniyle, birçok bileşen, silikon karbürün (sic) yaygın olarak kullanılan bir seçim olduğu yüksek sıcaklık ve korozyona dirençli malzemelerin kullanılmasını gerektirir. Aşağıda oksidasyon fırınlarında ve difüzyon fırınlarında bulunan yaygın silikon karbür bileşenleri:

● gofret teknesi

Silikon karbür gofret teknesi, yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve silikon gofretlerle tepki vermeyecek silikon gofret taşımak için kullanılan bir kaptır.

● Fırın tüpü

Fırın tüpü, silikon gofretleri barındırmak ve reaksiyon ortamını kontrol etmek için kullanılan difüzyon fırının çekirdek bileşenidir. Silikon karbür fırın tüpleri mükemmel yüksek sıcaklık ve korozyon direnci performansına sahiptir.

● Dövme plakası

Fırın içindeki hava akışını ve sıcaklık dağılımını düzenlemek için kullanılır

● Termokupl koruma tüpü

Sıcaklık ölçüm termokupllarını aşındırıcı gazlarla doğrudan temastan korumak için kullanılır.

● Konsol kürek

Silikon karbür konsol kürekleri yüksek sıcaklık ve korozyona dayanıklıdır ve silikon gofret taşıyan silikon tekneleri veya kuvars tekneleri difüzyon fırın tüplerine taşımak için kullanılır.

● Gaz enjektörü

Fırına reaksiyon gazı eklemek için kullanılır, yüksek sıcaklık ve korozyona karşı dirençli olmalıdır.

● Tekne taşıyıcısı

Silikon karbür gofret tekne taşıyıcısı, yüksek mukavemet, korozyon direnci ve iyi yapısal stabilite gibi avantajlara sahip silikon gofretleri düzeltmek ve desteklemek için kullanılır.

● Fırın kapısı

Silikon karbür kaplamalar veya bileşenler fırın kapısının içinde de kullanılabilir.

● Isıtma elemanı

Silikon karbür ısıtma elemanları yüksek sıcaklıklar, yüksek güç için uygundur ve sıcaklıkları hızlı bir şekilde 1000 ℃'ye yükseltebilir.

● sic astar

Fırın tüplerinin iç duvarını korumak için kullanılır, ısı enerjisi kaybını azaltmaya yardımcı olabilir ve yüksek sıcaklık ve yüksek basınç gibi sert ortamlara dayanabilir.

View as

SIC difüzyon fırın tüpü

Çin'de önde gelen bir difüzyon fırın ekipmanı üreticisi ve tedarikçisi olan Vetek yarı iletken SIC difüzyon fırın tüpü önemli ölçüde yüksek bükülme mukavemeti, oksidasyona karşı mükemmel dirence, korozyon direncine, yüksek aşınma direncine ve mükemmel yüksek sıcaklık mekanik özelliklerine sahiptir. Difüzyon fırını uygulamalarında vazgeçilmez bir ekipman malzemesi haline getirir. Vetek Semiconductor, yüksek kaliteli SIC difüzyon fırın tüpünü üretmeye ve tedarik etmeye kararlıdır ve daha fazla soruşturmanızı memnuniyetle karşılamaktadır.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Yüksek saflıkta sic gofret tekne taşıyıcısı

VeTek Semiconductor, özelleştirilmiş Yüksek saflıkta SiC levha tekne taşıyıcısı sunar. Yüksek saflıkta silisyum karbürden yapılmış olup, levhayı yerinde tutan ve işleme sırasında kaymasını önleyen yuvalara sahiptir. Gerektiğinde CVD SiC kaplama da mevcuttur. Profesyonel ve güçlü bir yarı iletken üreticisi ve tedarikçisi olarak VeTek Semiconductor'ın Yüksek saflıkta SiC levha tekne taşıyıcısı, fiyat açısından rekabetçi ve yüksek kalitededir. VeTek Semiconductor, Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyor.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Yüksek saflık sic konsol kürek

Vetek Semiconductor, Çin'de yüksek saflıkta sic konsol kürek ürününün önde gelen üreticisi ve tedarikçisidir. Yüksek saflıkta Sic konsol kürekleri, gofret transferi veya yükleme platformları olarak yarı iletken difüzyon fırınlarında yaygın olarak kullanılır.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Dikey sütun gofret tekne ve kaide

Vetek Semiconductor'ın dikey kolon gofret teknesi ve kaidesi, mükemmel yüksek sıcaklık direnci, kimyasal stabilite ve mekanik mukavemet ile yüksek saflıkta kuvars veya silikon karbon seramik (sic) malzemelerden yapılmıştır ve yarı iletken üretim sürecinde vazgeçilmez bir çekirdek bileşenidir. Daha fazla danışmanlığınıza hoş geldiniz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Bitişik gofret teknesi

Vetek yarı iletken bitişik gofret teknesi, yarı iletken işleme için gelişmiş bir ekipmandır. Ürün yapısı, hassas gofretlerin verimli işlenmesini ve üretimini sağlamak için dikkatle tasarlanmıştır. Veteksemi özelleştirilmiş ürün çözümlerini destekler ve danışmanızı dört gözle bekliyor.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Yatay sic gofret taşıyıcı

Vetek Semiconductor, Çin'de TAC kaplı kılavuz yüzük, yatay SIC gofret taşıyıcı ve SIC kaplamalı duyucuların profesyonel bir üreticisi ve tedarikçisidir. Yarı iletken endüstrisi için mükemmel teknik destek ve nihai ürün çözümleri sunmaya kararlıyız. Bizimle iletişime geçmeye hoş geldiniz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Çin'de profesyonel bir Oksidasyon ve difüzyon fırını üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Oksidasyon ve difüzyon fırını satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
e-posta
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin

Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Menüden Çık

Oksidasyon ve difüzyon fırını

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

SIC difüzyon fırın tüpü

Yüksek saflıkta sic gofret tekne taşıyıcısı

Yüksek saflık sic konsol kürek

Dikey sütun gofret tekne ve kaide

Bitişik gofret teknesi

Yatay sic gofret taşıyıcı

Talep Gönder

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon

Faks

e-posta

Adres