Oksidasyon ve difüzyon fırını

Oksidasyon ve difüzyon fırınları, yarı iletken cihazlar, ayrık cihazlar, optoelektronik cihazlar, güç elektronik cihazlar, güneş pilleri ve büyük ölçekli entegre devre üretimi gibi çeşitli alanlarda kullanılır. Difüzyon, oksidasyon, tavlama, alaşım ve gofretlerin sinterlenmesi gibi işlemler için kullanılırlar.

Vetek Semiconductor, oksidasyon ve difüzyon fırınlarında yüksek saflıkta grafit, silikon karbür ve kuvars bileşenlerinin üretiminde uzmanlaşmış önde gelen bir üreticidir. Yarı iletken ve fotovoltaik endüstriler için yüksek kaliteli fırın bileşenleri sağlamayı taahhüt ediyoruz ve CVD-SIC, CVD-TAC, pirokarbon, vb.

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

● Yüksek sıcaklık direnci (1600'e kadar ℃)

● Mükemmel termal iletkenlik ve termal stabilite

● İyi kimyasal korozyon direnci

● Termal genişleme katsayısı düşük

● Yüksek güç ve sertlik

● Uzun hizmet ömrü

Oksidasyon ve difüzyon fırınlarında, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gazların varlığı nedeniyle, birçok bileşen, silikon karbürün (sic) yaygın olarak kullanılan bir seçim olduğu yüksek sıcaklık ve korozyona dirençli malzemelerin kullanılmasını gerektirir. Aşağıda oksidasyon fırınlarında ve difüzyon fırınlarında bulunan yaygın silikon karbür bileşenleri:

● gofret teknesi

Silikon karbür gofret teknesi, yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve silikon gofretlerle tepki vermeyecek silikon gofret taşımak için kullanılan bir kaptır.

● Fırın tüpü

Fırın tüpü, silikon gofretleri barındırmak ve reaksiyon ortamını kontrol etmek için kullanılan difüzyon fırının çekirdek bileşenidir. Silikon karbür fırın tüpleri mükemmel yüksek sıcaklık ve korozyon direnci performansına sahiptir.

● Dövme plakası

Fırın içindeki hava akışını ve sıcaklık dağılımını düzenlemek için kullanılır

● Termokupl koruma tüpü

Sıcaklık ölçüm termokupllarını aşındırıcı gazlarla doğrudan temastan korumak için kullanılır.

● Konsol kürek

Silikon karbür konsol kürekleri yüksek sıcaklık ve korozyona dayanıklıdır ve silikon gofret taşıyan silikon tekneleri veya kuvars tekneleri difüzyon fırın tüplerine taşımak için kullanılır.

● Gaz enjektörü

Fırına reaksiyon gazı eklemek için kullanılır, yüksek sıcaklık ve korozyona karşı dirençli olmalıdır.

● Tekne taşıyıcısı

Silikon karbür gofret tekne taşıyıcısı, yüksek mukavemet, korozyon direnci ve iyi yapısal stabilite gibi avantajlara sahip silikon gofretleri düzeltmek ve desteklemek için kullanılır.

● Fırın kapısı

Silikon karbür kaplamalar veya bileşenler fırın kapısının içinde de kullanılabilir.

● Isıtma elemanı

Silikon karbür ısıtma elemanları yüksek sıcaklıklar, yüksek güç için uygundur ve sıcaklıkları hızlı bir şekilde 1000 ℃'ye yükseltebilir.

● sic astar

Fırın tüplerinin iç duvarını korumak için kullanılır, ısı enerjisi kaybını azaltmaya yardımcı olabilir ve yüksek sıcaklık ve yüksek basınç gibi sert ortamlara dayanabilir.

View as

SiC Gofret Teknesi

SIC gofret teknesi, sıcaklığın gofret yüzeyine eşit olarak dağıtılabilmesini sağlamak için, esas olarak oksidasyon ve difüzyon işlemi için gofret taşımak için kullanılır. SIC malzemelerinin yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek termal iletkenliği, verimli ve güvenilir yarı iletken işleme sağlar. Vetek Semiconductor rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sağlamaya kararlıdır.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Sic proses tüpü

VeTek Semiconductor, yarı iletken üretimi için yüksek performanslı SiC Proses Tüpleri sağlar. SiC Proses Tüplerimiz oksidasyon ve difüzyon proseslerinde mükemmeldir. Üstün kalite ve işçilikle bu tüpler, verimli yarı iletken işleme için yüksek sıcaklık stabilitesi ve termal iletkenlik sunar. Rekabetçi fiyatlar sunuyoruz ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

SiC Konsol Kürek

Vetek Semiconductor'ın SIC konsol kürek, ısıl işlem fırınlarında gofret teknelerini işlemek ve desteklemek için kullanılır. SIC materyalinin yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek termal iletkenliği, yarı iletken işleme işleminde yüksek verimlilik ve güvenilirlik sağlar. Rekabetçi fiyatlarla yüksek kaliteli ürünler sağlamaya kararlıyız ve Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Yatay Fırın için Silisyum Karbür Gofret Teknesi

SiC gofret teknesi, malzeme saflığı konusunda yüksek gereksinime sahiptir. Vetek Semiconductor, bu ürüne SiC saflığı >%99,96 oranında yeniden kristalleştirilmiş SiC sağlar. VeTek Semiconductor, Ar-Ge ve Ar-Ge alanında uzun yıllara dayanan deneyime sahip, yatay fırın için silisyum karbür gofret teknesi için Çin'de profesyonel bir üretici ve tedarikçidir. Üretim, kaliteyi iyi kontrol edebilir ve rekabetçi bir fiyat sunabilir. Yatay fırın için silisyum karbür gofret teknesini bizden satın alacağınızdan emin olabilirsiniz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

SIC kaplı silikon karbür gofret teknesi

SIC kaplamalı silikon karbür gofret tekne, gofret taşımak için 165 yuva ile tasarlanmıştır.Vetek Semiconductor, SIC kaplamalı silikon karbür gofret teknesi için Çin'de profesyonel üretici ve tedarikçidir, Ar -Ge ve üretimde yıllarca deneyime sahip, kaliteyi iyi kontrol edebilir ve rekabetçi bir fiyat. Fabrikamızı ziyaret ettiğiniz için hoş geldiniz ve işbirliği hakkında daha fazla tartışma yapın.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Silikon karbür konsol kürek

Vetek Semiconductor'ın silikon karbür konsol kürek, yarı iletken üretim işleminde, özellikle difüzyon ve RTP gibi yüksek sıcaklık işlemlerinde difüzyon fırınları veya LPCVD fırınları için uygun önemli bir bileşendir. Silikon karbür konsol kürekimiz, mükemmel yüksek sıcaklık direnci ve mekanik mukavemetle dikkatlice tasarlanmış ve üretilmiştir ve difüzyon ve RTP gibi çeşitli yüksek sıcaklık işlemleri için sert işlem koşulları altında gafları güvenli ve güvenilir bir şekilde işlem tüpüne taşıyabilir. Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Çin'de profesyonel bir Oksidasyon ve difüzyon fırını üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Oksidasyon ve difüzyon fırını satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
e-posta
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin

Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Menüden Çık

Oksidasyon ve difüzyon fırını

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

SiC Gofret Teknesi

Sic proses tüpü

SiC Konsol Kürek

Yatay Fırın için Silisyum Karbür Gofret Teknesi

SIC kaplı silikon karbür gofret teknesi

Silikon karbür konsol kürek

Talep Gönder

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon

Faks

e-posta

Adres