Ürünler

Veteksemicon yarı iletken kuvars ekranı, ince film büyüme süreçlerini optimize etmede önemli bir rol oynayan metal organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) sistemlerinde hayati bir bileşendir. Bu ürün detay sayfası, MOCVD ekipmanının tekdüzeliğini, saflığını ve bakım verimliliğini artırmak için tasarlanmış Veteksemicon'un yüksek saflıkta kuvars ekranlarını vurgular.

Yüksek saflıkta kuvars pota, özellikle son derece yüksek termal stabilite, kimyasal saflık ve boyutsal doğruluk gerektiren uygulamalar için gelişmiş yarı iletken üretim süreçlerinde temel çekirdek bileşendir. Veteksemicon, yarı iletken süreçlerin aşırı taleplerini karşılamak için tasarlanmış üstün yüksek saflıkta kuvars hükmü sunar.

Veteksemicon tarafından gözenekli SIC seramik chuck, aşındırma, iyon implantasyonu, CMP ve muayene gibi ileri yarı iletken işlemlerde güvenli ve parçacık içermeyen gofret kullanımı için tasarlanmış hassas şekilde tasarlanmış bir vakum platformudur. Yüksek saflıkta gözenekli silikon karbürden üretilen, olağanüstü termal iletkenlik, kimyasal direnç ve mekanik mukavemet sunar. Özelleştirilebilir gözenek boyutları ve boyutları ile Veteksemicon, temiz oda gofret işleme ortamlarının katı taleplerini karşılamak için özel çözümler sunar.

Kuvars gofret teknelerimiz, yarı iletken, LED, güneş pili ve pil üretim süreçleri için tasarlanmış yüksek saflıkta gofret taşıyıcı çözeltisidir. Yüksek sıcaklıklara ve kimyasal olarak agresif ortamlara dayanmak için tasarlanan bu kuvars teknesi, düşük termal genleşme, mükemmel elektrik yalıtım ve uzun süreli boyutsal stabilite içerir. Difüzyon, oksidasyon ve LPCVD işlemleri için ideal olan hassas gofret hizalamasını destekler ve farklı ekipman gereksinimlerini karşılamak için çeşitli boyutlarda mevcuttur.

Veteksemicon Sic konsol kürekleri, yatay difüzyon fırınlarında ve epitaksiyal reaktörlerde gofret kullanımı için tasarlanmış yüksek saflıkta silikon karbür destek kollarıdır. Olağanüstü termal iletkenlik, korozyon direnci ve mekanik mukavemetle, bu kürekler talep eden yarı iletken ortamlarda stabilite ve temizlik sağlar. Özel boyutlarda mevcuttur ve uzun hizmet ömrü için optimize edilmiştir.

Veteksemicon’un SIC bloğu, silikon ve safir gofretlerin yüksek verimli taşlaması ve incelmesi için tasarlanmıştır. Mükemmel termal iletkenlik (≥120 w/m · k), yüksek termal şok direnci ve üstün aşınma direnci (MOHS ≥9) ile bloklarımız süreç stabilitesini iyileştirir ve takım değişikliği frekansını azaltır. 120mm ila 480mm arası boyutlarda, özelleştirilmiş seçenekler ve çeşitli üretim ihtiyaçlarını karşılamak için hızlı teslimat ile mevcuttur.