SIC Edge Ring

Yarıiletken üretimi alanında, gofret işleme ekipmanlarının çekirdek bileşenleri olarak SIC kenar halkaları, endüstriyel manzarada malzeme özellikleriyle devrim yaratıyor. Silikon karbür tek kristallerinden yapılmış bu hassas bileşenin değeri sadece yüksek teknoloji içeriğinde değil, aynı zamanda çip üreticilerine getirebileceği işletme maliyetlerinin verim ve optimizasyonunda da önemli bir gelişme içinde yer almaktadır.

Sic kenar halkası yapısal özellikleri

Silikon karbür kenar halkaları, yarı iletken dağlama ekipmanlarında temel sarf malzemeleridir ve kimyasal buhar birikimi (CVD) yöntemiyle hazırlanan yüksek saflıkta silikon karbür malzemelerinden yapılmıştır. Halka yapısının çapı genellikle 200-450 mm'dir ve kalınlık aşağıdaki özelliklere sahip 5-15 mm içinde kontrol edilir:

1. Ekstreme Tolerans: 1500'lük yüksek sıcaklık ortamı dayanabilir ℃

2. Plazma Stabilitesi: Dielektrik Sabit 9.7, Arıza Voltajı 3mv/cm

3. Geometrik doğruluk: Yuvarlaklık hatası ≤0.05mm, yüzey pürüzlülüğü RA <0.2μm

Üretim sürecinde atılım

Modern hazırlık süreci üç aşamalı bir yöntemi benimser:

1. Matris Oluşturma: İzostatik Presleme Oluşturma Tekdüze Yoğunluk sağlar

2. Yüksek sıcaklık sinterleme: 2100'de inert bir atmosferde yoğunlaştırma tedavisi ℃

3. Yüzey Modifikasyonu: Nano ölçekli koruyucu katmanlar reaktif iyon aşınması (RIE) ile oluşturulur. En son araştırma,% 3 bor ile katkılı silikon karbür kenar halkalarının servis ömrünün% 40 arttığını ve gofret kontaminasyon oranının 0.01ppm seviyesine düşürüldüğünü gösteriyor.

Uygulama senaryoları

5nm'nin altındaki işlemlerde taşınmazlık gösterir:

2. Dringing Tekdüzelik: Gofret kenarında ±% 1.5 aşındırma oranı sapmasını koruyabilir

3. Kirlilik Kontrolü: Geleneksel kuvars malzemelerine kıyasla metal kirliliğini% 92 azaltır

4. Bakım döngüsü: CF4/O2 plazmasında 1500 saat boyunca sürekli çalışabilir

Veteksemicon, SIC Edge Rings'in yerli üretiminde çok fazla maliyet harcamasından tasarruf edebilen bir atılım elde etti. İstediğiniz zaman bizimle iletişime geçmeye hoş geldiniz!