Ürünler

Silisyum Karbür Kaplama

VeTek Semiconductor, ultra saf Silisyum Karbür Kaplama ürünlerinin üretiminde uzmanlaşmıştır; bu kaplamalar, saflaştırılmış grafit, seramik ve refrakter metal bileşenlere uygulanacak şekilde tasarlanmıştır.


Yüksek saflıktaki kaplamalarımızın öncelikli olarak yarı iletken ve elektronik endüstrilerinde kullanılması hedeflenmektedir. Plaka taşıyıcıları, tutucular ve ısıtma elemanları için koruyucu bir katman görevi görerek onları MOCVD ve EPI gibi işlemlerde karşılaşılan aşındırıcı ve reaktif ortamlardan korurlar. Bu işlemler, levha işleme ve cihaz imalatının ayrılmaz bir parçasıdır. Ayrıca kaplamalarımız, yüksek vakum, reaktif ve oksijen ortamlarıyla karşılaşılan vakum fırınları ve numune ısıtma uygulamaları için de çok uygundur.


VeTek Semiconductor olarak gelişmiş makine atölyesi yeteneklerimizle kapsamlı bir çözüm sunuyoruz. Bu, temel bileşenleri grafit, seramik veya refrakter metaller kullanarak üretmemize ve SiC veya TaC seramik kaplamaları kendi bünyemizde uygulamamıza olanak sağlar. Ayrıca müşteri tarafından tedarik edilen parçalar için kaplama hizmetleri de sunarak farklı ihtiyaçları karşılama esnekliği sağlıyoruz.


Silisyum Karbür Kaplama ürünlerimiz Si ​​epitaksi, SiC epitaksi, MOCVD sistemi, RTP/RTA işlemi, aşındırma işlemi, ICP/PSS aşındırma işlemi, mavi ve yeşil LED, UV LED ve derin UV dahil olmak üzere çeşitli LED türlerinin işleminde yaygın olarak kullanılmaktadır. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ve benzerlerinin ekipmanlarına uyarlanan LED vb.


Yapabileceğimiz reaktör parçaları:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Silisyum Karbür Kaplamanın birçok benzersiz avantajı vardır:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Yarı İletken Silisyum Karbür Kaplama Parametresi

CVD SiC kaplamanın temel fiziksel özellikleri
Mülk Tipik Değer
Kristal Yapısı FCC β fazı çok kristalli, esas olarak (111) yönelimli
SiC kaplama Yoğunluk 3,21 g/cm³
SiC kaplamaSertlik 2500 Vickers sertliği (500g yük)
Tahıl Boyutu 2~10μm
Kimyasal Saflık %99,99995
Isı Kapasitesi 640 J·kg-1·K-1
Süblimleşme Sıcaklığı 2700°C
Eğilme Dayanımı 415 MPa RT 4 noktalı
Young Modülü 430 Gpa 4pt viraj, 1300°C
Isı İletkenliği 300W·m-1·K-1
Termal Genleşme (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FİLM KRİSTAL YAPISI

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Üstün Ald

Üstün Ald

Vetek Semiconductor bir Çin Profesyonel ALD Sindancı Üreticisidir. Vetek, ALD sürecinin yüksek gereksinimlerini karşılamak için ALD sistemi üreticileri ile birlikte SIC kaplı Ald Planet üsleri geliştirdi ve üretti. Danışmanlığınıza hoş geldiniz.
CVD SIC kaplı tavan

CVD SIC kaplı tavan

Vetek Semiconductor'ın CVD SIC kaplı tavanı, yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, yüksek sertlik ve düşük termal genleşme katsayısı gibi mükemmel özelliklere sahiptir, bu da yarı iletken üretiminde ideal bir malzeme seçimi haline getirir. Çin'in önde gelen CVD SIC kaplı tavan üreticisi ve tedarikçisi olan Vetek Semiconductor danışmanızı dört gözle bekliyor.
MOCVD EPI SUSCEPTER

MOCVD EPI SUSCEPTER

Vetek Semiconductor, Çin'de MOCVD LED EPI Susgenti'nin profesyonel bir üreticisidir. MOCVD LED EPI Susuncumuz, epitaksiyal ekipman uygulamaları talep etmek için tasarlanmıştır. Yüksek termal iletkenliği, kimyasal stabilitesi ve dayanıklılığı, kararlı bir epitaksiyal büyüme süreci ve yarı iletken film üretimi sağlamak için temel faktörlerdir.
Sic kaplama ALD suyunu

Sic kaplama ALD suyunu

SIC kaplama ALD suyunu, atomik tabaka birikimi (ALD) işleminde özellikle kullanılan bir destek bileşenidir. Biriktirme sürecinin tekdüzeliğini ve hassasiyetini sağlayarak ALD ekipmanında önemli bir rol oynar. ALD Planet Seansör ürünlerimizin size yüksek kaliteli ürün çözümleri sunabileceğine inanıyoruz.
CVD sic kaplama bölmesi

CVD sic kaplama bölmesi

Vetek'in CVD SIC kaplama bölmesi esas olarak SI epitaksisinde kullanılır. Genellikle silikon uzatma varilleri ile kullanılır. Yarı iletken üretiminde hava akışının düzgün dağılımını büyük ölçüde geliştiren CVD SIC kaplama bölmesinin benzersiz yüksek sıcaklık ve stabilitesini birleştirir. Ürünlerimizin size ileri teknoloji ve yüksek kaliteli ürün çözümleri sunabileceğine inanıyoruz.
CVD sic grafit silindiri

CVD sic grafit silindiri

Vetek Semiconductor’ın CVD SIC grafit silindiri, yarı iletken ekipmanda çok önemlidir, yüksek sıcaklık ve basınç ayarlarında dahili bileşenleri korumak için reaktörler içinde koruyucu bir kalkan görevi görür. Ekipman bütünlüğünü koruyarak kimyasallara ve aşırı ısıya karşı etkili bir şekilde korunur. Olağanüstü aşınma ve korozyon direnci ile, zorlu ortamlarda uzun ömür ve stabilite sağlar. Bu kapakları kullanmak, yarı iletken cihaz performansını artırır, ömrünü uzatır ve bakım gereksinimlerini ve hasar risklerini azaltır.
Çin'de profesyonel bir Silisyum Karbür Kaplama üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Silisyum Karbür Kaplama satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept