Katı SiC Odak Halkası

6.Ana uygulama alanları

7. Veteksemi katı SiC odak halkası çekirdeğinin avantajları

Mükemmel plazma korozyon direnci

CF4, O2 ve Cl2 gibi son derece aşındırıcı, yüksek yoğunluklu plazmalara uzun süre maruz kalan geleneksel malzemeler, hızlı aşınmaya ve parçacık kirliliğine karşı hassastır. Katı SiC odak halkamız, kuvars veya alümina gibi malzemelerinkinden çok daha düşük bir korozyon hızıyla mükemmel korozyon direnci sergiler. Bu, zaman içinde pürüzsüz bir yüzeyi koruduğu, bileşen aşınması ve yıpranmasından kaynaklanan levha kusurları riskini önemli ölçüde azaltarak sürekli ve istikrarlı seri üretim sağladığı anlamına gelir.

Mükemmel yüksek sıcaklık kararlılığı ve termal yönetim performansı

Yarı iletken aşındırma işlemi önemli miktarda ısı üreterek hazne bileşenlerinin dramatik sıcaklık dalgalanmalarına maruz kalmasına neden olur. Odak halkalarımız son derece düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir ve çatlama veya deformasyon olmadan 1600°C'ye kadar geçici sıcaklıklara dayanma kapasitesine sahiptir. Ayrıca, doğal yüksek termal iletkenlikleri, ısının eşit ve hızlı bir şekilde dağıtılmasına yardımcı olarak levha kenarındaki sıcaklık dağılımını etkili bir şekilde iyileştirerek ısıyı iyileştirir.Tüm plaka boyunca aşındırma tekdüzeliği ve kritik boyutların tutarlılığı.

Olağanüstü malzeme saflığı ve yapısal yoğunluk

Silisyum karbür ham maddelerinin saflığını (≥%99,999) sıkı bir şekilde kontrol ediyoruz ve eser safsızlık kontrolüne yönelik gelişmiş üretim süreçlerinin katı gereksinimlerini karşılamak için sinterleme işlemi sırasında metal kirliliğini ortadan kaldırıyoruz. Yüksek sıcaklıkta sinterleme yoluyla oluşturulan yoğun yapı, son derece düşük gözenekliliğe sahiptir ve proses gazlarının ve yan ürünlerin nüfuzunu neredeyse tamamen engeller. Bu, dahili malzeme bozulmasının neden olduğu performans bozulmasını ve parçacık büyümesini önleyerek saf bir proses odası ortamı sağlar.

Uzun ömürlü mekanik ömür ve kapsamlı maliyet etkinliği

Sık sık değiştirilmesi gereken geleneksel sarf malzemeleriyle karşılaştırıldığında Veteksemi katı SiC odak halkaları olağanüstü dayanıklılık sunar. Servis ömürleri boyunca istikrarlı performansı korurlar ve değiştirme döngülerini birkaç kez uzatırlar. Bu, yalnızca yedek parça tedarik maliyetlerini doğrudan azaltmakla kalmaz, aynı zamanda ekipmanın bakım nedeniyle aksama süresini azaltarak makine kullanımını önemli ölçüde artırır ve bu da müşteriler için önemli genel maliyet avantajları sağlar.

Hassas boyut kontrolü ve esnek özelleştirme hizmetleri

Sarf malzemelerine yönelik farklı makine ve süreçlerin kesin gereksinimlerini anlıyoruz. Her odak halkası, ±0,05 mm dahilindeki kritik boyut toleranslarını sağlamak için hassas işleme ve sıkı testlere tabi tutulur. Ayrıca özel boyutlar, yüzey kaplamaları (Ra ≤ 0,2μm'ye kadar parlatma) ve özel proses gereksinimlerinize ve uygulama senaryolarınıza mükemmel şekilde uyacak iletkenlik ayarlamaları dahil olmak üzere özelleştirilmiş hizmetler de sunuyoruz.

Ayrıntılı teknik spesifikasyonlar, teknik incelemeler veya örnek test düzenlemeleri için lütfen Teknik Destek Ekibimizle iletişime geçerek Veteksemi'nin proses verimliliğinizi nasıl artırabileceğini keşfedin.