Tac kaplama subser

Vetek Semiconductor'ın TAC kaplı suyunu veTAC kaplıyüzükLPE silikon karbür epitaksiyal büyüme reaktöründe birlikte çalışın:

● Yüksek sıcaklık direnci:Tac kaplamaSinkör, mükemmel yüksek sıcaklık direncine sahiptir, bu da 1500 ° C'ye kadar olan aşırı sıcaklıklara dayanabilenLPE Reaktörü. Bu, ekipman ve bileşenlerin uzun süreli çalışma sırasında deforme olmamasını veya hasar görmemesini sağlar.

● Kimyasal istikrar: TAC kaplama suyeni, korozif silikon karbür büyüme ortamında son derece iyi performans gösterir, reaktör bileşenlerini korozif kimyasal ataktan etkili bir şekilde korur ve böylece servis ömrünü uzatır.

● Termal stabilite: TAC kaplama suyunu, silikon karbür epitaksiyal tabakalarının yüksek kaliteli büyümesi için faydalı olan reaktördeki sıcaklık alanının homojenliğini sağlamak için yüzey morfolojisini ve pürüzlülüğünü koruyan iyi termal stabiliteye sahiptir.

● Anti-kontaminasyon: Pürüzsüz TAC kaplı yüzey ve üstün TPD (sıcaklık programlı desorpsiyon) performansı, reaktör içindeki partiküllerin ve safsızlıkların birikmesini ve adsorpsiyonunu en aza indirerek epitaksiyal tabakaların kontaminasyonunu önleyebilir.

Özetle, TAC kaplı sensör ve halka, LPE silikon karbür epitaksiyal büyüme reaktöründe kritik bir koruyucu rol oynar, bu da ekipmanın uzun süreli kararlı çalışmasını ve epitaksiyal tabakaların yüksek kaliteli büyümesini sağlar.