Ürünler

Tantal Karbür Kaplama

VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisine yönelik Tantal Karbür Kaplama malzemelerinin lider üreticisidir. Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD tantal karbür kaplama parçaları, SiC kristal büyütme için sinterlenmiş TaC kaplama parçaları veya yarı iletken epitaksi işlemi yer alır. ISO9001'i geçen VeTek Semiconductor, kalite konusunda iyi bir kontrole sahiptir. VeTek Semiconductor, sürekli olarak tekrarlanan teknolojilerin araştırılması ve geliştirilmesi yoluyla Tantal Karbür Kaplama endüstrisinde yenilikçi olmaya kendini adamıştır.


Ana ürünlerTaC Kaplamalı Kılavuz Halkası, CVD TaC kaplı üç yapraklı kılavuz halkası, Tantal Karbür TaC Kaplamalı Yarım Ay, CVD TaC kaplama planeter SiC epitaksiyel suseptör, Tantal Karbür Kaplama Halkası, Tantal Karbür Kaplı Gözenekli Grafit, TaC Kaplama Rotasyon Tutucusu, Tantal Karbür Yüzük, TaC Kaplama Döndürme Plakası, TaC kaplı gofret tutucu, TaC Kaplamalı Deflektör Halkası, CVD TaC Kaplama Kapağı, TaC Kaplamalı Aynavb., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.


TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt katmanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur. Avantajı aşağıdaki resimde gösterilmektedir:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantal karbür (TaC) kaplama, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemeti, sertliği ve termal şoklara karşı direnci nedeniyle dikkat çekmiş olup, bu da onu daha yüksek sıcaklık gereksinimleri olan bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerine çekici bir alternatif haline getirmektedir. Aixtron MOCVD sistemi ve LPE SiC epitaksi prosesi gibi. Ayrıca PVT metodu SiC kristal büyütme prosesinde de geniş bir uygulamaya sahiptir.


Temel Özellikler:

 ●Sıcaklık kararlılığı

 ●Ultra yüksek saflık

 ●H2, NH3, SiH4,Si'ye karşı direnç

 ●Termal stoğa karşı direnç

 ●Grafitte güçlü yapışma

 ●Uyumlu kaplama kapsamı

 750 mm çapa kadar boyut(Çin'de bu boyuta ulaşan tek üretici)


Uygulamalar:

 ●Gofret taşıyıcı

 ● Endüktif ısıtma tutucusu

 ● Dirençli ısıtma elemanı

 ●Uydu diski

 ●Duş başlığı

 ●Kılavuz halkası

 ●LED Epi alıcısı

 ●Enjeksiyon memesi

 ●Maskeleme halkası

 ● Isı kalkanı


Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TaC) kaplama:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Kaplama Parametresi:

TaC kaplamanın fiziksel özellikleri
Yoğunluk 14,3 (g/cm³)
Spesifik emisyon 0.3
Termal genleşme katsayısı 6.3 10-6/K
Sertlik (HK) 2000 Hong Kong
Rezistans 1×10-5Ohm*cm
Termal stabilite <2500°C
Grafit boyutu değişiklikleri -10~-20um
Kaplama kalınlığı ≥20um tipik değer (35um±10um)


TaC kaplama EDX verileri

EDX data of TaC coating


TaC kaplama kristal yapı verileri:

Öğe Atom yüzdesi
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Ortalama
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Onlara 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC Kaplama Döndürme Plakası

TAC Kaplama Döndürme Plakası

Vetek yarı iletken tarafından üretilen TAC kaplama rotasyon plakası, olağanüstü bir TAC kaplamasına sahiptir, olağanüstü TAC kaplaması ile TAC kaplama rotasyon plakası, geleneksel çözümlerden farklı yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal durgunluğa sahiptir.
TAC kaplama plakası

TAC kaplama plakası

Hassasiyetle tasarlanan ve mükemmelliğe göre tasarlanan Vetek Semiconductor'ın TAC kaplama plakası, silikon karbür (sic) tek kristal büyüme işlemlerinde çeşitli uygulamalar için özel olarak tasarlanmıştır. TAC kaplama plakasının kesin boyutları ve sağlam yapısı, mevcut sistemlere entegre olmayı kolaylaştırır, dikişsiz uyumluluk ve etkili çalışma sağlar. Güvenilir performansı ve yüksek kaliteli kaplaması, SIC kristal büyüme uygulamalarında tutarlı ve tekdüze sonuçlara katkıda bulunur. Rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sağlamaya kararlıyız ve Çin'de uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
CVD TAC kaplama kapağı

CVD TAC kaplama kapağı

Vetek Semiconductor tarafından sağlanan CVD TAC kaplama kapağı, özellikle talepkar uygulamalar için tasarlanmış oldukça özel bir bileşendir. Gelişmiş özellikleri ve olağanüstü performansı ile CVD TAC kaplama kapağımız birkaç temel avantaj sunar. CVD TAC kaplama kapağımız başarı için gerekli gerekli korumayı ve performansı sağlar. Sizinle potansiyel işbirliğini keşfetmeyi dört gözle bekliyoruz!
TAC Kaplama Gezegen Suyu

TAC Kaplama Gezegen Suyu

TAC Kaplama Gezegen Sensörü, Aixtron Epitaksi Ekipmanı için olağanüstü bir üründür. Vetek Semiconductor'ın TAC kaplaması mükemmel yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal inertlik sağlar. Bu benzersiz kombinasyon, zorlu ortamlarda bile güvenilir performans ve uzun hizmet ömrü sağlar. Vetek, yüksek kaliteli ürünler sağlamaya ve Çin pazarında rekabetçi fiyatlandırma ile uzun vadeli bir ortak olarak hizmet vermeye kararlıdır.
TAC Kaplama Kaide Destek Plakası

TAC Kaplama Kaide Destek Plakası

TAC kaplama 2200 ℃ yüksek sıcaklığa dayanabilir. Vetek Semiconductor, Çin'de 5 ppm'nin altında safsızlıklarla yüksek saflıkta TAC kaplama sağlar. TAC kaplama kaidesi destek plakası, epitaksiyal cihaz reaksiyon odasında argonine amonyak hidrojene dayanabilir. Ürünün servis ömrünü geliştirir. Gereksinimleri sağlarsınız, özelleştirme sağlarız.
Tac kaplama aynası

Tac kaplama aynası

Vetek Semiconductor'ın TAC kaplama chuck, özellikle silikon karbür (sic) epitaksi (EPI) işlemlerinde olağanüstü yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal atıllığı ile bilinen yüzeyi yüksek kaliteli bir kaplama içerir. Olağanüstü özellikleri ve üstün performansı ile TAC kaplama Chuck, çeşitli temel avantajlar sunuyor. Rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sağlamaya kararlıyız ve Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.
Çin'de profesyonel bir Tantal Karbür Kaplama üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Tantal Karbür Kaplama satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept