Ürünler

Tantal Karbür Kaplama

VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisine yönelik Tantal Karbür Kaplama malzemelerinin lider üreticisidir. Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD tantal karbür kaplama parçaları, SiC kristal büyütme için sinterlenmiş TaC kaplama parçaları veya yarı iletken epitaksi işlemi yer alır. ISO9001'i geçen VeTek Semiconductor, kalite konusunda iyi bir kontrole sahiptir. VeTek Semiconductor, sürekli olarak tekrarlanan teknolojilerin araştırılması ve geliştirilmesi yoluyla Tantal Karbür Kaplama endüstrisinde yenilikçi olmaya kendini adamıştır.


Ana ürünlerTaC Kaplamalı Kılavuz Halkası, CVD TaC kaplı üç yapraklı kılavuz halkası, Tantal Karbür TaC Kaplamalı Yarım Ay, CVD TaC kaplama planeter SiC epitaksiyel suseptör, Tantal Karbür Kaplama Halkası, Tantal Karbür Kaplı Gözenekli Grafit, TaC Kaplama Rotasyon Tutucusu, Tantal Karbür Yüzük, TaC Kaplama Döndürme Plakası, TaC kaplı gofret tutucu, TaC Kaplamalı Deflektör Halkası, CVD TaC Kaplama Kapağı, TaC Kaplamalı Aynavb., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.


TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt katmanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur. Avantajı aşağıdaki resimde gösterilmektedir:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantal karbür (TaC) kaplama, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemeti, sertliği ve termal şoklara karşı direnci nedeniyle dikkat çekmiş olup, bu da onu daha yüksek sıcaklık gereksinimleri olan bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerine çekici bir alternatif haline getirmektedir. Aixtron MOCVD sistemi ve LPE SiC epitaksi prosesi gibi. Ayrıca PVT metodu SiC kristal büyütme prosesinde de geniş bir uygulamaya sahiptir.


Temel Özellikler:

 ●Sıcaklık kararlılığı

 ●Ultra yüksek saflık

 ●H2, NH3, SiH4,Si'ye karşı direnç

 ●Termal stoğa karşı direnç

 ●Grafitte güçlü yapışma

 ●Uyumlu kaplama kapsamı

 750 mm çapa kadar boyut(Çin'de bu boyuta ulaşan tek üretici)


Uygulamalar:

 ●Gofret taşıyıcı

 ● Endüktif ısıtma tutucusu

 ● Dirençli ısıtma elemanı

 ●Uydu diski

 ●Duş başlığı

 ●Kılavuz halkası

 ●LED Epi alıcısı

 ●Enjeksiyon memesi

 ●Maskeleme halkası

 ● Isı kalkanı


Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TaC) kaplama:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Kaplama Parametresi:

TaC kaplamanın fiziksel özellikleri
Yoğunluk 14,3 (g/cm³)
Spesifik emisyon 0.3
Termal genleşme katsayısı 6.3 10-6/K
Sertlik (HK) 2000 Hong Kong
Rezistans 1×10-5Ohm*cm
Termal stabilite <2500°C
Grafit boyutu değişiklikleri -10~-20um
Kaplama kalınlığı ≥20um tipik değer (35um±10um)


TaC kaplama EDX verileri

EDX data of TaC coating


TaC kaplama kristal yapı verileri:

Öğe Atom yüzdesi
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Ortalama
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Onlara 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC kaplı Üç Petal Yüzük

TAC kaplı Üç Petal Yüzük

VeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen TaC Kaplamalı Üç Yapraklı Halka üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır TaC ve SiC kaplama konusunda uzmanlaştık. Ürünlerimiz korozyon direncine ve yüksek mukavemete sahiptir. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz. İstediğiniz zaman danışabilirsiniz.
Tantal karbür kaplamalı chuck

Tantal karbür kaplamalı chuck

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen tantal karbür kaplı chuck üreticisi ve yenilikçisidir. Yıllarca TAC kaplamasında uzmanlaştık. Ürünlerimiz 2000'e kadar yüksek saflık ve yüksek sıcaklık direncine sahip olduğumuz. Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.
Tantal karbür kaplı kapak

Tantal karbür kaplı kapak

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen tantal karbür kaplı kapak üreticisi ve yenilikçisidir. Yıllarca TAC ve SIC kaplamasında uzmanlaştık. Ürünlerimiz korozyon direnci, yüksek mukavemet var. Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.
Ultra saf grafit alt yarımmoon

Ultra saf grafit alt yarımmoon

Vetek Semiconductor, Çin'de uzun yıllar ileri düzey malzemelerde uzmanlaşmış, özelleştirilmiş ultra saf grafit alt yarımmoonunun önde gelen bir tedarikçisidir. Ultra saf grafit alt yarımmoonumuz, SIC epitaksiyal ekipmanları için özel olarak tasarlanmış ve mükemmel performans sağlıyor. Ultra saflı ithal grafitten yapılmış, güvenilirlik ve dayanıklılık sunar. Yüksek kaliteli ultra saf grafit alt yarım fabrikamızı ilk elden keşfetmek için Çin'deki fabrikamızı ziyaret edin.
Üst yarımmoon parça sic kaplı

Üst yarımmoon parça sic kaplı

Vetek Semiconductor, 20 yılı aşkın bir süredir gelişmiş malzemelerde uzmanlaşmış, Çin'de özelleştirilmiş üst yarımmoon parça SIC'nin önde gelen bir tedarikçisidir. Vetek yarı iletken üst yarımmoon kısmı SIC kaplamalı, reaksiyon odasında önemli bir bileşen görevi gören SIC epitaksiyal ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır. Ultra saf, yarı iletken sınıfı grafitten yapılmış, mükemmel performans sağlar. Sizi Çin'deki fabrikamızı ziyaret etmeye davet ediyoruz.
Silikon Karbür Epitaksi Gofret Taşıyıcı

Silikon Karbür Epitaksi Gofret Taşıyıcı

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen özelleştirilmiş silikon karbür epitaksi gofret taşıyıcı tedarikçisidir. 20 yıldan fazla gelişmiş malzemede uzmanlaştık. SIC epitaksiyal reaktöründe SIC substratı, büyüyen SIC epitaksi katmanı taşımak için bir silikon karbür epitaksi gofret taşıyıcı sunuyoruz. Bu silikon karbür epitaksi gofret taşıyıcı, yarımmoon kısmının önemli bir SIC kaplı parçası, yüksek sıcaklık direnci, oksidasyon direnci, aşınma direnci. Sizi Çin'deki fabrikamızı ziyaret etmenizi memnuniyetle karşılıyoruz.
Çin'de profesyonel bir Tantal Karbür Kaplama üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Tantal Karbür Kaplama satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept