Ürünler

Tantal Karbür Kaplama

VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisine yönelik Tantal Karbür Kaplama malzemelerinin lider üreticisidir. Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD tantal karbür kaplama parçaları, SiC kristal büyütme için sinterlenmiş TaC kaplama parçaları veya yarı iletken epitaksi işlemi yer alır. ISO9001'i geçen VeTek Semiconductor, kalite konusunda iyi bir kontrole sahiptir. VeTek Semiconductor, sürekli olarak tekrarlanan teknolojilerin araştırılması ve geliştirilmesi yoluyla Tantal Karbür Kaplama endüstrisinde yenilikçi olmaya kendini adamıştır.


Ana ürünlerTaC Kaplamalı Kılavuz Halkası, CVD TaC kaplı üç yapraklı kılavuz halkası, Tantal Karbür TaC Kaplamalı Yarım Ay, CVD TaC kaplama planeter SiC epitaksiyel suseptör, Tantal Karbür Kaplama Halkası, Tantal Karbür Kaplı Gözenekli Grafit, TaC Kaplama Rotasyon Tutucusu, Tantal Karbür Yüzük, TaC Kaplama Döndürme Plakası, TaC kaplı gofret tutucu, TaC Kaplamalı Deflektör Halkası, CVD TaC Kaplama Kapağı, TaC Kaplamalı Aynavb., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.


TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt katmanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur. Avantajı aşağıdaki resimde gösterilmektedir:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantal karbür (TaC) kaplama, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemeti, sertliği ve termal şoklara karşı direnci nedeniyle dikkat çekmiş olup, bu da onu daha yüksek sıcaklık gereksinimleri olan bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerine çekici bir alternatif haline getirmektedir. Aixtron MOCVD sistemi ve LPE SiC epitaksi prosesi gibi. Ayrıca PVT metodu SiC kristal büyütme prosesinde de geniş bir uygulamaya sahiptir.


Temel Özellikler:

 ●Sıcaklık kararlılığı

 ●Ultra yüksek saflık

 ●H2, NH3, SiH4,Si'ye karşı direnç

 ●Termal stoğa karşı direnç

 ●Grafitte güçlü yapışma

 ●Uyumlu kaplama kapsamı

 750 mm çapa kadar boyut(Çin'de bu boyuta ulaşan tek üretici)


Uygulamalar:

 ●Gofret taşıyıcı

 ● Endüktif ısıtma tutucusu

 ● Dirençli ısıtma elemanı

 ●Uydu diski

 ●Duş başlığı

 ●Kılavuz halkası

 ●LED Epi alıcısı

 ●Enjeksiyon memesi

 ●Maskeleme halkası

 ● Isı kalkanı


Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TaC) kaplama:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Kaplama Parametresi:

TaC kaplamanın fiziksel özellikleri
Yoğunluk 14,3 (g/cm³)
Spesifik emisyon 0.3
Termal genleşme katsayısı 6.3 10-6/K
Sertlik (HK) 2000 Hong Kong
Rezistans 1×10-5Ohm*cm
Termal stabilite <2500°C
Grafit boyutu değişiklikleri -10~-20um
Kaplama kalınlığı ≥20um tipik değer (35um±10um)


TaC kaplama EDX verileri

EDX data of TaC coating


TaC kaplama kristal yapı verileri:

Öğe Atom yüzdesi
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Ortalama
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Onlara 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC kaplama kapağı

CVD TAC kaplama kapağı

Vetek Semiconductor tarafından sağlanan CVD TAC kaplama kapağı, özellikle talepkar uygulamalar için tasarlanmış oldukça özel bir bileşendir. Gelişmiş özellikleri ve olağanüstü performansı ile CVD TAC kaplama kapağımız birkaç temel avantaj sunar. CVD TAC kaplama kapağımız başarı için gerekli gerekli korumayı ve performansı sağlar. Sizinle potansiyel işbirliğini keşfetmeyi dört gözle bekliyoruz!
TAC Kaplama Gezegen Suyu

TAC Kaplama Gezegen Suyu

TAC Kaplama Gezegen Sensörü, Aixtron Epitaksi Ekipmanı için olağanüstü bir üründür. Vetek Semiconductor'ın TAC kaplaması mükemmel yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal inertlik sağlar. Bu benzersiz kombinasyon, zorlu ortamlarda bile güvenilir performans ve uzun hizmet ömrü sağlar. Vetek, yüksek kaliteli ürünler sağlamaya ve Çin pazarında rekabetçi fiyatlandırma ile uzun vadeli bir ortak olarak hizmet vermeye kararlıdır.
TAC Kaplama Kaide Destek Plakası

TAC Kaplama Kaide Destek Plakası

TAC kaplama 2200 ℃ yüksek sıcaklığa dayanabilir. Vetek Semiconductor, Çin'de 5 ppm'nin altında safsızlıklarla yüksek saflıkta TAC kaplama sağlar. TAC kaplama kaidesi destek plakası, epitaksiyal cihaz reaksiyon odasında argonine amonyak hidrojene dayanabilir. Ürünün servis ömrünü geliştirir. Gereksinimleri sağlarsınız, özelleştirme sağlarız.
Tac kaplama aynası

Tac kaplama aynası

Vetek Semiconductor'ın TAC kaplama chuck, özellikle silikon karbür (sic) epitaksi (EPI) işlemlerinde olağanüstü yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal atıllığı ile bilinen yüzeyi yüksek kaliteli bir kaplama içerir. Olağanüstü özellikleri ve üstün performansı ile TAC kaplama Chuck, çeşitli temel avantajlar sunuyor. Rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sağlamaya kararlıyız ve Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.
CVD TAC kaplama halkası

CVD TAC kaplama halkası

Yarı iletken endüstrisinde, CVD TAC kaplama halkası, silikon karbür (sic) kristal büyüme süreçlerinin zorlu gereksinimlerini karşılamak için tasarlanmış oldukça avantajlı bir bileşendir. Vetek Semiconductor'ın CVD TAC kaplama halkası, yüksek sıcaklıklar ve korozif koşullarla karakterize edilen ortamlar için ideal bir seçim haline getirerek olağanüstü yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal durutluk sağlar. PLS daha fazla soru için bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.
LPE SIC EPI YARIMMOON

LPE SIC EPI YARIMMOON

LPE SiC Epi Halfmoon, LPE reaktör SiC epitaksi süreçlerini geliştirmek için tasarlanmış devrim niteliğinde bir ürün olan yatay epitaksi fırını için özel bir tasarımdır. Bu son teknoloji çözüm, üretim operasyonlarınız boyunca üstün performans ve verimlilik sağlayan çeşitli temel özelliklere sahiptir. Vetek Semiconductor, 6 inç, 8 inç LPE SiC Epi yarım ay üretiminde profesyoneldir. Sizinle uzun vadeli işbirliği kurmayı dört gözle bekliyorum.
Çin'de profesyonel bir Tantal Karbür Kaplama üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Tantal Karbür Kaplama satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept