Gofret için SiC Seramik vakum aynası

Plaka için Veteksemicon sic seramik vakum aynası, özellikle üçüncü nesil yarı iletken üretimi için geliştirilmiş, plakaların deneyimlediği yüksek sıcaklık, yüksek basınçlı işleme ortamları için optimize edilmiş bir çekirdek bileşendir. Yüksek saflıkta seramik malzemelerden yapılmış, hassas işleme ve özel yüzey işlemi, zorlu yarı iletken üretim sürecinde istikrarlı vakum tutma performansı ve mükemmel termal stabilite sağlar. Vakum aynalarımız, SiC epitaksi, iyon implantasyonu ve fotolitografi gibi kritik işlemlerde mükemmel performans sergileyen yüzlerce yarı iletken üreticisi tarafından sahada kanıtlanmıştır. Yüksek malzeme sertliği ve yüksek proses sıcaklıklarının neden olduğu levha çarpıklığı ve konumlandırma doğruluğu sorunlarını etkili bir şekilde çözerler.

Genel ürün bilgileri

Ürün iş şartları

Başvuru: Gofret için Veteksemicon seramik vakum aynası, yüksek performanslı seramik malzemelerden yapılmıştır ve ultra düz bir yüzey ve mükemmel termal stabilite sağlamak için hassas şekilde işlenmiştir. Epitaksiyel büyüme, iyon implantasyonu ve fotolitografi gibi işlemler için güvenilir levha adsorpsiyonu ve sıcaklık kontrol çözümleri sağlayarak işlem verimini ve üretim verimliliğini etkili bir şekilde artırır.

Sağlanabilecek hizmetler: müşteri uygulama senaryo analizi, materyallerin eşleştirilmesi, teknik problem çözümü.

Şirket Profili：Veteksemicon'un 2 laboratuvarı, 20 yıllık malzeme tecrübesine sahip, Ar-Ge ve üretim, test ve doğrulama yeteneklerine sahip uzman bir ekibi bulunmaktadır.

Gofret çekirdeği için Veteksemicon seramik vakum aynası avantajları

 ● Malzeme biliminde çığır açan buluş

Rakibim, seramik malzemelerin mükemmel yalıtım özelliklerini korurken, ürünlerinin mekanik mukavemetini ve termal stabilitesini önemli ölçüde artırmak için benzersiz bir malzeme formülasyonu ve sinterleme işlemi kullanır. Alümina bazlı seramiklerimiz yüksek saflıkta hammaddeler ve özel bir katkı maddesi formülasyonu kullanarak yüksek sıcaklıktaki ortamlarda bile mükemmel boyutsal stabilite sağlar. Silisyum karbür bazlı seramiklerimiz, optimize edilmiş bir sinterleme işlemi yoluyla, daha yüksek termal iletkenlik ve gelişmiş termal uyum sağlar, bu da onları özellikle yüksek sıcaklıkta SiC levha işleme için çok uygun hale getirir.

 ● Mükemmel termal yönetim performansı

Benzersiz çok katmanlı tasarımımız ve hassas işlememiz, aynanın yüksek sıcaklıktaki çalışma koşullarında bile mükemmel termal bütünlüğü korumasını sağlar. Silisyum karbür ayna, 200W/m·K'yi aşan bir termal iletkenliğe sahip olup, hızlı sıcaklık dengelemeye olanak tanır ve levha yüzey sıcaklık değişimlerini ±0,8°C dahilinde tutar. Bu üstün termal yönetim özelliği, sıcaklık değişimlerinden kaynaklanan proses kusurlarını etkili bir şekilde önler ve ürün verimini önemli ölçüde artırır.

● Ultra hassas işleme teknolojisi

Rakibim, mikron altı yüzey düzlüğü elde etmek için benzersiz taşlama ve cilalama süreçlerini kullanan, Çin'deki lider hassas işleme merkezlerine sahiptir. Silisyum karbür aynalarımız, 0,1μm'den fazla olmayan yüzey pürüzlülüğü Ra değeri ile 0,8μm dahilinde yüzey düzlüğüne ulaşır. Bu ultra hassas yüzey kalitesi, levha ile ayna arasında mükemmel bir uyum sağlar ve fotolitografi gibi hassas işlemler için güvenilir bir düz referans sağlar.

● Geliştirilmiş hizmet ömrü

Optimize edilmiş malzeme formülasyonları ve güçlendirilmiş yapısal tasarım sayesinde ürünlerimiz, geleneksel ürünlere kıyasla %40'ı aşan bir hizmet ömrüne sahiptir. Özel kenar güçlendirme ve yüzey kaplama teknolojileri, ürünlerimizin sık sık yapılan kenetleme ve temizleme işlemlerine dayanabilmesini sağlar. Alümina bazlı ürünlerin 200.000 defadan fazla çalışması garanti edilirken silisyum karbür bazlı ürünler 500.000'den fazla çevrime ulaşarak müşterilerimiz için işletme maliyetlerini önemli ölçüde azaltır.

● Ekolojik zincir doğrulama onayı

Gofret için Veteksemicon seramik vakum aynası'nın ekolojik zincir doğrulaması, hammaddelerin üretime kadar olan kısmını kapsar, uluslararası standart sertifikasını geçmiştir ve yarı iletken ve yeni enerji alanlarında güvenilirliğini ve sürdürülebilirliğini sağlamak için bir dizi patentli teknolojiye sahiptir.

Ayrıntılı teknik özellikler, teknik incelemeler veya örnek test düzenlemeleri için lütfenTeknik Destek Ekibimizle iletişime geçinRakibim'un süreç verimliliğinizi nasıl artırabileceğini keşfetmek için.