Silisyum Karbür Odak halkası

Genel ürün bilgileri

Ürün iş şartları

Başvuru: Yarı iletken kuru aşındırma işlemlerinde odak halkası, işlem homojenliğini sağlayan önemli bir bileşendir. Plakayı sıkı bir şekilde çevreler ve plakanın kenarlarındaki plazma dağılımını hassas bir şekilde kontrol ederek, aşındırma işleminin tek biçimliliğini ve tutarlılığını doğrudan belirler, bu da onu talaş verimini garanti etmenin vazgeçilmez bir parçası haline getirir.

Sağlanabilecek hizmetler: müşteri uygulama senaryo analizi, materyallerin eşleştirilmesi, teknik problem çözümü.

Şirket Profili:Veteksemicon'un 2 laboratuvarı, 20 yıllık malzeme tecrübesine sahip, Ar-Ge ve üretim, test ve doğrulama yeteneklerine sahip uzmanlardan oluşan bir ekibi bulunmaktadır.

Teknik Parametreler

Rakibim odak halkası çekirdeğinin avantajları

1. Zorlu ortamlar için doğmuş olağanüstü malzeme bilimi

Seçtiğimiz yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu silisyum karbür malzememiz, SiC aşındırma işlemi sırasında yoğun plazma bombardımanına ve flor içeren kimyasal gaz korozyonuna kolaylıkla dayanabilir. Mükemmel korozyon direnci, doğrudan daha uzun hizmet ömrü ve daha düşük bileşen değiştirme sıklığı anlamına gelir; yalnızca ekipmanın arıza süresini azaltmakla kalmaz, aynı zamanda bileşen aşınmasından kaynaklanan parçacık kirlenmesi riskini de önemli ölçüde azaltarak size uzun vadeli ve istikrarlı, kapsamlı bir maliyet etkinliği sağlar.

2. Hassas mühendislik tasarımı tutarlı süreç sağlar

Her bir Veteksemicon odak halkası, düzlük, iç çap ve adım yüksekliği gibi temel boyutların mikron düzeyinde doğruluk elde etmesini sağlamak için ultra hassas CNC işlemeye tabi tutulur ve orijinal ekipman üreticisiyle (OEM) mükemmel uyum sağlar. Mühendislik ekibimiz plazma simülasyonunu kullanarak profili daha da optimize eder. Bu tasarım, elektrik alanını etkili bir şekilde yönlendirerek levha kenarlarındaki anormal aşınmayı azaltır ve böylece tüm levhanın aşındırma tekdüzeliğini aşırı bir seviyeye kadar kontrol eder.

3. Güvenilir performans üretim verimliliğini artırır

Zorlu seri üretim ortamlarında ürünlerimizin tam değeri ortaya çıkar. Veteksemicon odak halkası, konsantre ve istikrarlı plazma dağıtımı sağlayarak, geliştirilmiş aşındırma hızı homojenliğine ve optimize edilmiş partiden partiye proses tekrarlanabilirliğine doğrudan katkıda bulunur. Bu, üretim hattınızın sürekli olarak yüksek verimli ürünler sunabileceği, aynı zamanda daha uzun bakım döngülerinden yararlanabileceği, levha başına sarf malzemesi maliyetlerini etkili bir şekilde azaltabileceği ve size önemli bir rekabet avantajı sağlayabileceği anlamına gelir.

4. Ekolojik zincir doğrulama onayı

Rakibim odak halkasının ekolojik zincir doğrulaması, hammaddelerden üretime kadar olan süreci kapsar, uluslararası standart sertifikasını geçmiştir ve yarı iletken ve yeni enerji alanlarında güvenilirliğini ve sürdürülebilirliğini sağlamak için bir dizi patentli teknolojiye sahiptir.

Ayrıntılı teknik spesifikasyonlar, teknik incelemeler veya örnek test düzenlemeleri için lütfen Teknik Destek Ekibimizle iletişime geçerek Veteksemicon'un proses verimliliğinizi nasıl artırabileceğini keşfedin.

Rakibim ürünleri mağazası