Gözenekli sic seramik aynaları

Veteksemicon tarafından sunulan gözenekli SIC seramik mandrenleri, yüksek saflıkta gözenekli silikon karbürden (sic) yapılır, bu seramik aynası yüksek vakum ve sıcaklık koşulları altında düzgün gaz akışı, mükemmel düzlük ve termal stabilite sağlar. Temassız, parçacık içermeyen gofret kullanımının kritik olduğu vakum sıkıştırma sistemleri için idealdir.

Ⅰ. Temel Malzeme Özellikleri ve Performans Avantajları

1. Mükemmel termal iletkenlik ve sıcaklık direnci

Silikon karbür, yüksek termal iletkenlik (120-200 w/m · k) sunar ve 1600 ° C'nin üzerindeki çalışma sıcaklıklarına dayanabilir, bu da chuck'ı plazma aşındırma, iyon ışını işleme ve yüksek sıcaklık biriktirme işlemleri için ideal hale getirir.

Rol: Tek tip ısı dağılmasını sağlar, gofret çözgüselini azaltır ve süreç homojenliğini iyileştirir.

2. Üstün mekanik mukavemet ve aşınma direnci

SIC'nin yoğun mikro yapısı, tekrar gofret yükleme/boşaltma döngüleri ve sert işlem ortamları için gerekli olan Chuck'a olağanüstü sertlik (> 2000 HV) ve mekanik dayanıklılık verir.

Rol: Boyutsal stabilite ve yüzey hassasiyetini korurken Chuck'ın ömrünü uzatır.

3. Düzgün vakum dağılımı için kontrollü gözeneklilik

Seramiğin ince ayarlanmış gözenekli yapısı, gofret yüzeyi boyunca tutarlı vakum emme sağlar ve minimal partikül kontaminasyonu ile güvenli gofret yerleşimi sağlar.

Rol: Temiz oda uyumluluğunu artırır ve hasarsız gofret işlemeyi sağlar.

4. Mükemmel kimyasal direnç

SIC’nin aşındırıcı gazlara ve plazma ortamlarına karşı eğlendirmesi, reaktif iyon aşınması veya kimyasal temizlik sırasında mandrenizi bozulmadan korur.

Rol: Operasyonel maliyeti azaltarak, kesinti ve temizlik sıklığını en aza indirir.

Ⅱ. Veteksemicon'un Özelleştirme ve Destek Hizmetleri

Veteksemicon'da, yarı iletken üreticilerinin titiz taleplerini karşılamak için tam bir özel hizmet yelpazesi sunuyoruz:

● Özel geometri ve gözenek boyutu tasarımı: Ekipman spesifikasyonlarınıza ve vakum gereksinimlerinize göre özelleştirilmiş çeşitli boyutlarda, kalınlıklarda ve gözenek yoğunluklarında aynalar sunuyoruz.

● Hızlı geri dönüş prototipleme: Kısa teslim süreleri ve Ar -Ge ve pilot hatlar için düşük MOQ üretim desteği.

● Güvenilir satış sonrası hizmet: Kurulum kılavuzundan yaşam döngüsü izlemeye kadar, uzun vadeli performans istikrarı ve teknik destek sağlıyoruz.

Ⅲ. Başvuru

● Karacaz ve plazma işleme ekipmanı

● İyon implantasyonu ve tavlama odaları

● Kimyasal mekanik parlatma (CMP) sistemleri

● Metroloji ve muayene platformları

● Temiz oda ortamlarında vakum tutma ve kenetleme sistemleri

Vekekemeicon Ürünleri Mağazası: