Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Ürünler

Katı Silisyum Karbür

VeTek Yarı İletken Katı Silisyum Karbür, plazma aşındırma ekipmanında önemli bir seramik bileşendir, katı silisyum karbür(CVD silisyum karbür) aşındırma ekipmanındaki parçalar şunları içerir:odaklama halkaları, gaz duş başlığı, tepsi, kenar halkaları vb. Katı silisyum karbürün (CVD silisyum karbür) klor ve flor içeren aşındırma gazlarına karşı düşük reaktivitesi ve iletkenliği nedeniyle, plazma aşındırma ekipmanı odaklama halkaları ve diğerleri için ideal bir malzemedir. bileşenler.


Örneğin, odak halkası, halka içinden geçen plazmayı odaklamak için halkaya bir voltaj uygulanarak, levhanın dışına yerleştirilen ve levha ile doğrudan temas halinde olan önemli bir parçadır, böylece plazmanın levha üzerinde odaklanarak tekdüzeliği geliştirilir. işleme. Geleneksel odak halkası silikondan yapılmıştır veyakuvarsOrtak bir odak halkası malzemesi olarak iletken silikon, neredeyse silikon levhaların iletkenliğine yakındır, ancak flor içeren plazmada zayıf aşındırma direnci eksikliği vardır, aşındırma makinesi parçaları malzemeleri genellikle bir süre kullanılır, ciddi olacaktır Korozyon olgusu, üretim verimliliğini ciddi şekilde azaltır.


Solid SiC Odak HalkasıÇalışma Prensibi：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Ve Tabanlı Odaklama Halkası ve CVD SiC Odaklama Halkasının Karşılaştırılması:

Ve Tabanlı Odaklama Halkası ve CVD SiC Odaklama Halkasının Karşılaştırılması
Öğe Ve CVD SiC
Yoğunluk (g/cm3) 2.33 3.21
Bant aralığı (eV) 1.12 2.3
Isı iletkenliği (W/cm°) 1.5 5
CTE (x10-6/°C) 2.6 4
Elastik modül (GPa) 150 440
Sertlik (GPa) 11.4 24.5
Aşınma ve korozyona karşı direnç Fakir Harika


VeTek Semiconductor, yarı iletken ekipmanlar için SiC odaklama halkaları gibi gelişmiş katı silisyum karbür (CVD silisyum karbür) parçalar sunar. Katı silikon karbür odaklama halkalarımız, mekanik mukavemet, kimyasal direnç, termal iletkenlik, yüksek sıcaklık dayanıklılığı ve iyon aşındırma direnci açısından geleneksel silikondan daha iyi performans gösterir.


VeC odaklama halkalarımızın temel özellikleri şunları içerir::

Azaltılmış aşındırma oranları için yüksek yoğunluk.

Yüksek bant aralığı ile mükemmel yalıtım.

Yüksek ısı iletkenliği ve düşük ısıl genleşme katsayısı.

Üstün mekanik darbe direnci ve esneklik.

Yüksek sertlik, aşınma direnci ve korozyon direnci.

Kullanılarak üretilmiştirplazmayla güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD)Teknikleri sayesinde SiC odaklama halkalarımız, yarı iletken üretiminde dağlama işlemlerinin artan taleplerini karşılamaktadır. Özellikle yüksek plazma gücüne ve enerjiye dayanacak şekilde tasarlanmıştır.kapasitif olarak eşleşmiş plazma (CCP)sistemler.

VeTek Semiconductor'ın SiC odaklama halkaları, yarı iletken cihaz üretiminde olağanüstü performans ve güvenilirlik sağlar. Üstün kalite ve verimlilik için SiC bileşenlerimizi seçin.


View as  
 
Silikon karbür mühür halkası

Silikon karbür mühür halkası

Çin'de profesyonel bir silikon karbür mühür halkası ürün üreticisi ve fabrikası olarak, Vetek yarı iletken silikon karbür conta halkası, mükemmel ısı direnci, korozyon direnci, mekanik mukavemeti ve termal iletkenliği nedeniyle yarı iletken işleme ekipmanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle CVD, PVD ve plazma aşınması gibi yüksek sıcaklık ve reaktif gazları içeren işlemler için uygundur ve yarı iletken üretim işleminde önemli bir malzeme seçimidir. Diğer sorularınız kabul edilir.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
SIC kristal büyümesi için CVD SIC bloğu

SIC kristal büyümesi için CVD SIC bloğu

SIC kristal büyümesi için CVD SIC bloğu, Vetek Semiconductor tarafından geliştirilen yeni bir yüksek saflıkta hammaddedir. Yüksek giriş çıkış oranına sahiptir ve bugün piyasada kullanılan tozun yerini almak için ikinci nesil bir malzeme olan yüksek kaliteli, büyük boyutlu silikon karbür tek kristalleri yetiştirebilir. Teknik sorunları tartışmaya hoş geldiniz.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
Sic kristal büyüme yeni teknoloji

Sic kristal büyüme yeni teknoloji

Kimyasal buhar birikimi (CVD) ile oluşturulan Vetek Semiconductor'ın ultra yüksek saflıkta silikon karbür (SIC), fiziksel buhar taşınması (PVT) ile silikon karbür kristalleri yetiştirmek için bir kaynak malzeme olarak kullanılması önerilmektedir. Sic Crystal Growth New Technology'de kaynak malzeme bir pota yüklenir ve bir tohum kristaline süblimleştirilir. Büyüyen SIC kristalleri için bir kaynak olarak yüksek saflıkta CVD-SIC bloklarını kullanın. Bizimle bir ortaklık kurmaya hoş geldiniz.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
CVD sic duş başlığı

CVD sic duş başlığı

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen CVD SIC duş başlığı üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır SIC malzemesinde uzmanlaştık. CVD SIC duş başlığı, mükemmel termokimyasal stabilitesi, yüksek mekanik mukavemeti ve plazma erozyonuna karşı direnç nedeniyle odaklama halka malzemesi olarak seçilir. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
Sic duş başlığı

Sic duş başlığı

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen bir SIC duş başlığı kafa üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır SIC malzemesinde uzmanlaştık. Ssic duş kafası, mükemmel termokimyasal stabilitesi, yüksek mekanik mukavemeti ve plazma erozyonuna karşı direnci nedeniyle odaklama halka malzemesi olarak seçildi. Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyoruz.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
LPE PE2061S için SiC Kaplamalı Namlu Süseptör

LPE PE2061S için SiC Kaplamalı Namlu Süseptör

Çin'in önde gelen levha tutucu üretim tesislerinden biri olan VeTek Semiconductor, levha tutucu ürünlerinde sürekli ilerleme kaydetmiş ve birçok epitaksiyel levha üreticisinin ilk tercihi haline gelmiştir. VeTek Semiconductor tarafından sağlanan LPE PE2061S için SiC Kaplamalı Namlu Askı, LPE PE2061S 4" levhalar için tasarlanmıştır. Süseptör, LPE (sıvı faz epitaksi) işlemi sırasında performansı ve dayanıklılığı artıran dayanıklı bir silikon karbür kaplamaya sahiptir. Sorgunuza hoş geldiniz, uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
Çin'de profesyonel bir Katı Silisyum Karbür üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Katı Silisyum Karbür satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
Haber Önerileri
Kuvars teknesi nedir?
Kuvars teknesi nedir?Daha fazla göster >>
Yarıiletken işlemi: Kimyasal buhar birikimi (CVD)
Yarıiletken işlemi: Kimyasal buhar birikimi (CVD)Daha fazla göster >>
Sapphire hakkında ne kadar biliyorsun?
Sapphire hakkında ne kadar biliyorsun?Daha fazla göster >>
Silikon karbür seramik nedir?
Silikon karbür seramik nedir?Daha fazla göster >>
Tantal karbür (tac) nedir？
Tantal karbür (tac) nedir？Daha fazla göster >>
Yarı iletken işlemede SiC tek kristal büyümesi için CVD TaC kaplama prosesi ne gibi zorluklarla karşı karşıyadır?
Yarı iletken işlemede SiC tek kristal büyümesi için CVD TaC kaplama prosesi ne gibi zorluklarla karşı karşıyadır?Daha fazla göster >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept