Tantal karbür kaplama desteği

Vetek Semiconductor'ın ana işleviTantal karbür (TAC) kaplamaDestek, geliştirmektirIsı direnci, aşınma direnci ve korozyon direnciişlemin doğruluğunu ve güvenilirliğini artırmak ve bileşenlerin servis ömrünü uzatmak için bir tantal karbür kaplama tabakasını kaplayarak substratın. Yarı iletken işleme alanında kullanılan yüksek performanslı bir kaplama ürünüdür.

Vetek Semiconductor'ın tantal karbür kaplama destekçisi, MOHS sertliğine yaklaşık 9 ~ 10'dur, sadece elmasın ikincisidir. Son derece güçlü aşınma direncine sahiptir ve işleme sırasında yüzey aşınmasına ve etkiye etkili bir şekilde direnebilir, böylece ekipman bileşenlerinin servis ömrünü etkili bir şekilde genişletebilir. Yaklaşık 3880 ° C'lik yüksek erime noktası ile birleştiğinde, genellikle, aşınma direncini ve yüksek sıcaklık direncini arttırmak için destek yapılarının yüzey kaplamaları, ısıl işlem ekipmanları, odalar veya contalar gibi yarı iletken ekipmanlarının anahtar bileşenlerini kaplamak için kullanılır.

Yaklaşık 3880 ° C'lik tantal karbürün son derece yüksek erime noktası nedeniyle,Kimyasal buhar birikimi (CVD)VeFiziksel buhar birikimi (PVD), Güçlü yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal korozyon direncine sahip TAC kaplama, ekipman bileşenlerini etkili bir şekilde koruyabilir ve aşırı ortamlarda substratta korozyonu veya hasarı önleyebilir ve gofret üretiminde yüksek sıcaklık ortamları için etkili koruma sağlar. Bu özellik aynı zamanda Vetek Semiconductor'ın tantalik karbür kaplama desteğinin genellikle aşındırma ve aşındırıcı işlemlerde kullanıldığını belirler.

Tantal karbür kaplama desteği ayrıca parçacık kontaminasyonunu azaltma işlevine sahiptir. Gofret işleme sırasında, yüzey aşınması genellikle gofretin ürün kalitesini etkileyen partikül kontaminasyonu üretir. TAC Coating'in 9-10'a yakın Mohs sertliğinin aşırı ürün özellikleri bu aşınmayı etkili bir şekilde azaltabilir, böylece parçacıkların üretilmesini azaltabilir. TAC Coating'in mükemmel termal iletkenliği (yaklaşık 21 w/m · K) ile birleştiğinde, yüksek sıcaklık koşullarında iyi termal iletkenliği koruyabilir, böylece gofret üretiminin verimini ve tutarlılığını büyük ölçüde artırabilir.

Vetek Semiconductor'ın ana TAC kaplama ürünleriTAC Kaplama Isıtıcı, CVD TAC kaplama potası, TAC kaplama rotasyon duyucusuVeTAC kaplama yedek parça, vb. ve özelleştirilmiş ürün hizmetlerini destekleyin. Vetek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için mükemmel ürünler ve teknik çözümler sunmaya kararlıdır. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TAC) kaplama:

CVD TAC kaplamanın temel fiziksel özellikleri：