Silisyum Karbür Kaplama

ASM için Veteksemicon SiC kaplı grafit tutucu, yarı iletken epitaksiyel işlemlerde çekirdek taşıyıcı bir bileşendir. Bu ürün, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı proses ortamlarında üstün performans ve ultra uzun kullanım ömrü sağlamak için tescilli pirolitik silisyum karbür kaplama teknolojimizi ve hassas işleme proseslerimizi kullanır. Epitaksiyel proseslerin alt tabaka saflığı, termal kararlılık ve tutarlılık konusundaki katı gerekliliklerini derinden anlıyoruz ve müşterilerimize genel ekipman performansını artıran istikrarlı, güvenilir çözümler sunmaya kendimizi adadık.

Veteksemicon odak halkası, özellikle SiC aşındırma uygulamaları olmak üzere zorlu yarı iletken aşındırma ekipmanları için özel olarak tasarlanmıştır. Elektrostatik aynanın (ESC) çevresine, levhanın yakınına monte edilen bu parçanın birincil işlevi, reaksiyon odası içindeki elektromanyetik alan dağılımını optimize ederek tüm levha yüzeyi boyunca düzgün ve odaklanmış plazma hareketi sağlamaktır. Yüksek performanslı odak halkası, aşındırma hızı tekdüzeliğini önemli ölçüde artırır ve kenar etkilerini azaltarak ürün verimini ve üretim verimliliğini doğrudan artırır.

LED Aşındırma İçin Veteksemicon Silisyum Karbür Taşıyıcı Plaka, LED çip üretimi için özel olarak tasarlanmış olup, aşındırma işleminde kullanılan bir çekirdek sarf malzemesidir. Hassas sinterlenmiş yüksek saflıkta silisyum karbürden yapılmıştır, olağanüstü kimyasal direnç ve yüksek sıcaklıkta boyutsal stabilite sunar, güçlü asitler, bazlar ve plazmadan kaynaklanan korozyona etkili bir şekilde direnç gösterir. Düşük kirlenme özellikleri, LED epitaksiyel levhalar için yüksek verim sağlarken, geleneksel malzemelerinkini çok aşan dayanıklılığı, müşterilerin genel işletme maliyetlerini azaltmasına yardımcı olarak, onu gravür prosesi verimliliğini ve tutarlılığını geliştirmek için güvenilir bir seçim haline getiriyor.

Veteksemi katı SiC odak halkası, levha kenarındaki elektrik alanını ve hava akışını hassas bir şekilde kontrol ederek dağlama homojenliğini ve proses stabilitesini önemli ölçüde artırır. Silikon, dielektrik ve bileşik yarı iletken malzemelere yönelik hassas aşındırma işlemlerinde yaygın olarak kullanılır ve seri üretim verimi ve ekipmanın uzun vadeli güvenilir çalışmasını sağlamak için önemli bir bileşendir.

Veteksemicon'dan CVD SIC kaplı grafit duş başlığı, yarı iletken kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemleri için özel olarak tasarlanmış yüksek performanslı bir bileşendir. Yüksek saflıklı grafitten üretilen ve kimyasal buhar birikimi (CVD) silikon karbür (sic) kaplama ile korunan bu duş başlığı, olağanüstü dayanıklılık, termal stabilite ve korozif proses gazlarına direnç sağlar. Daha fazla danışmanlığınızı dört gözle bekliyorum.

Veteksemicon tarafından silikon karbür kaplama gofret tutucu, MOCVD, LPCVD ve yüksek sıcaklık tavlama gibi gelişmiş yarı iletken işlemlerde hassasiyet ve performans için tasarlanmıştır. Düzgün bir CVD SIC kaplamasıyla, bu gofret tutucu, kontaminasyonsuz, yüksek katlı gofret işleme için gerekli olan olağanüstü termal iletkenlik, kimyasal inertlik ve mekanik mukavemet sağlar.