Silisyum Karbür Kaplama

Yarıiletken dağlama ekipmanı için özel olarak tasarlanmış veteksemicon yüksek saflıkta sic kenar halkaları, olağanüstü korozyon direncine ve termal stabiliteye sahiptir, gofret verimini önemli ölçüde artırır

Önde gelen bir Çinli üretici ve silikon karbür kaplama ürünleri tedarikçisi olarak, Veteksemicon'un SIC kaplı gofret taşıyıcısı, mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesi, olağanüstü korozyon direnci ve yüksek termal iletkenliği ile dağlama işleminde yeri doldurulamaz bir çekirdek rol oynar.

Veteksemicon’un CVD SIC kaplı gofret suyu, yarı iletken epitaksiyal süreçler için son teknoloji bir çözümdür, ultra yüksek saflık (≤100PPB, ICP-E10 sertifikalı) ve olağanüstü termal/kimyasal stabilite, GAN, SIC ve SICAC tabanlı epi-layer'ların kontaminasyona dirençli büyümesi için. Hassas CVD teknolojisi ile tasarlanan 6 ”/8”/12 ”gofretleri destekler, minimal termal stres sağlar ve 1600 ° C'ye kadar aşırı sıcaklıklara dayanır.

SIC kaplamalı gezegensel sensörümüz, yarı iletken üretiminin yüksek sıcaklık sürecinde çekirdek bir bileşendir. Tasarımı, termal yönetim performansı, kimyasal stabilite ve mekanik mukavemetin kapsamlı optimizasyonunu elde etmek için grafit substratı silikon karbür kaplamasıyla birleştirir.

Epitaksi için SIC kaplı sızdırmazlık halkamız, grafitin termal stabilitesini, grafitin termal stabilitesini SIC'nin aşırı çevresel direnci ile birleştiren ve MOC'nin aşırı çevresel direnci ile birleştiren, kimyasal buhar birikimi (SIC) ile kaplanmış grafit veya karbon-karbon kompozitlerine dayanan yüksek performanslı bir sızdırmazlık bileşenidir.

Veteksemicon tek gofret epi grafit suyeni, yüksek performanslı silikon karbür (sic), galyum nitrür (GAn) ve diğer üçüncü nesil yarı iletken epitaksiyal işlem için tasarlanmıştır ve kitle üretiminde yüksek hassasiyetli epitaksiyal tabakanın çekirdek taşıyan bileşenidir.