Silisyum Karbür Kaplama

Veteksemicon'dan CVD SIC kaplı grafit duş başlığı, yarı iletken kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemleri için özel olarak tasarlanmış yüksek performanslı bir bileşendir. Yüksek saflıklı grafitten üretilen ve kimyasal buhar birikimi (CVD) silikon karbür (sic) kaplama ile korunan bu duş başlığı, olağanüstü dayanıklılık, termal stabilite ve korozif proses gazlarına direnç sağlar. Daha fazla danışmanlığınızı dört gözle bekliyorum.

Veteksemicon tarafından silikon karbür kaplama gofret tutucu, MOCVD, LPCVD ve yüksek sıcaklık tavlama gibi gelişmiş yarı iletken işlemlerde hassasiyet ve performans için tasarlanmıştır. Düzgün bir CVD SIC kaplamasıyla, bu gofret tutucu, kontaminasyonsuz, yüksek katlı gofret işleme için gerekli olan olağanüstü termal iletkenlik, kimyasal inertlik ve mekanik mukavemet sağlar.

Yarıiletken dağlama ekipmanı için özel olarak tasarlanmış veteksemicon yüksek saflıkta sic kenar halkaları, olağanüstü korozyon direncine ve termal stabiliteye sahiptir, gofret verimini önemli ölçüde artırır

Önde gelen bir Çinli üretici ve silikon karbür kaplama ürünleri tedarikçisi olarak, Veteksemicon'un SIC kaplı gofret taşıyıcısı, mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesi, olağanüstü korozyon direnci ve yüksek termal iletkenliği ile dağlama işleminde yeri doldurulamaz bir çekirdek rol oynar.

Veteksemicon’un CVD SIC kaplı gofret suyu, yarı iletken epitaksiyal süreçler için son teknoloji bir çözümdür, ultra yüksek saflık (≤100PPB, ICP-E10 sertifikalı) ve olağanüstü termal/kimyasal stabilite, GAN, SIC ve SICAC tabanlı epi-layer'ların kontaminasyona dirençli büyümesi için. Hassas CVD teknolojisi ile tasarlanan 6 ”/8”/12 ”gofretleri destekler, minimal termal stres sağlar ve 1600 ° C'ye kadar aşırı sıcaklıklara dayanır.

SIC kaplamalı gezegensel sensörümüz, yarı iletken üretiminin yüksek sıcaklık sürecinde çekirdek bir bileşendir. Tasarımı, termal yönetim performansı, kimyasal stabilite ve mekanik mukavemetin kapsamlı optimizasyonunu elde etmek için grafit substratı silikon karbür kaplamasıyla birleştirir.